DOI 10.17586/0021-3454-2019-62-7-654-658
УДК 531.7.082.5; 535.42/44
МЕТОД ИЗМЕРЕНИЯ ЛИНЕЙНЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ С ПОМОЩЬЮ ОСВЕЩАЕМОГО СФЕРИЧЕСКИМ ВОЛНОВЫМ ФРОНТОМ ОПТИЧЕСКОГО РАСТРА
Иванов Александр Николаевич;
Федоров Ю. В.
Университет ИТМО, кафедра измерительных технологий и компьютерной томографии; доцент
Читать статью полностью
Аннотация. Представлен новый метод измерения линейных перемещений, основанный на освещении оптического растра сферическим волновым фронтом, сформированным с помощью точечного отверстия. Предложенный метод позволяет измерять перемещение растра с погрешностью порядка 0,001 % . Показано, что предложенная схема имеет большой коэффициент преобразования перемещения и позволяет регистрировать малое смещение растра.
Ключевые слова: дифракция, точечный источник, измерение линейных перемещений, оптический растр, сферический волновой фронт
Список литературы:
Список литературы:
- Dobosz M., Zamiela G. Interference fringe detection system for distance measuring interferometer // Optics & Laser Technology. 2012. Vol. 44. P. 1620—1628.
- Benyong Chen et al. Development of a laser synthetic wavelength interferometer for large displacement measurement with nanometer accuracy // Optic Express. 2010. Vol. 3, N 18. P. 3000—3010.
- Bo Zhao et al. A displacement measuring system based on grating double diffraction // Proc. of SPIE. 2015. Vol. 9446. P. 94464J-1—94464J-7.
- Shuangshuang Zhao et al. Nanometer-scale displacement sensor based on phase-sensitive diffraction grating // Appl. Optics. 2011. Vol. 10, N 50. P. 1413—1416.
- Fisher J., Radil T. Simple methods of edge position measurement using shadow projected on SSD sensor // Measurement Sciеnce Rev. 2003. Vol. 3. P. 37—40.
- Fisher J., Radil T. Two-dimensional position measurement of objects with circular crosssection using single linear SSD sensor // Proc. of the XVIII Imeko World Congress; Imatra, Finland. 2006. P. 18—25.
- Zakirov A. K. et al. Method of measuring linear displacements of objects based on Fresnel diffraction pattern position // Proc. of SPIE. 2017. Vol. 10334. P. 103340L-1—103340L-6.
- Вознесенский Н. Б. и др. Интерференционный контроль асферических компонентов объектива для нанолитографии // ЖТФ. 2007. Т. 77, № 2. С. 126—130.
- Климов А. Ю. и др. Источник сферической волны на основе зонда ближнепольного микроскопа // Изв. РАН. Сер. физическая. 2008. Т. 72, № 2. С. 221—223.
