ISSN 0021-3454 (печатная версия)
ISSN 2500-0381 (онлайн версия)
Меню

2
Содержание
том 67 / Февраль, 2024
СТАТЬЯ

DOI 10.17586/0021-3454-2021-64-6-469-476

УДК 681.7.068.4

ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ СПОСОБЫ СНИЖЕНИЯ ФАКТОРОВ РОСТА ПОВЕРХНОСТНЫХ ДЕФЕКТОВ ПОЛИМЕРНЫХ ПЛАНАРНЫХ ОПТИЧЕСКИХ ВОЛНОВОДОВ

Радзиевская Т. А.
ОАО „Авангард“, Центр микросистемотехники; инженер-технолог; Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет „ЛЭТИ“ им. В. И. Ульянова (Ленина) кафедра фотоники;


Ламкин И. А.
канд. техн. наук, доцент; Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет „ЛЭТИ“ им. В. И. Ульянова (Ленина), кафедра фотоники;


Тарасов С. А.
д-р техн. наук, доцент; Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет „ЛЭТИ“ им. В. И. Ульянова (Ленина), департамент науки; директор; кафедра фотоники; заведующий кафедрой;


Иванов Н. Н.
д-р техн. наук; Санкт-Петербургский государственный университет телекоммуникаций им. проф. М. А. Бонч-Бруевича, институт магистратуры; зам. директора по научной работе;


Читать статью полностью 

Аннотация. Представлены технологические подходы к снижению поверхностных дефектов полимерных планарных оптических волноводов. Экспериментально определены и устранены факторы, способствующие увеличению числа поверхностных дефектов при использовании технологии мягкой литографии. Показана эффективность применения светофильтра оригинальной конструкции.
Ключевые слова: полимерные планарные оптические волноводы, мягкая литография, мастер-штамп, PDMS, SU-8, отрицательный наклон стенок фоторезиста, потери на рассеяние

Список литературы:
  1. Ахманов А. С. Оптическая передача информации в супер-ЭВМ и микропроцессорных системах. Ч. 1 // LIGHTWAVE. 2008. № 3. С. 46—53.
  2. Miller S. E. Integrated Optics: An Introduction // Bell System Technical Journal. 1969. Vol. 48, is. 7. P. 2059—2069. DOI: 10.1002/j.1538-7305.1969.tb01165.x.
  3. Cai D. Optical and mechanical aspects on polysiloxane based electrical-optical-circuits-board: Doct. thesis. Dortmund, 2008. 129 р. DOI: 10.17877/DE290R-8242.
  4. Cai D. Polydimethylsiloxane (PDMS) based optical interconnect with copper-clad FR4 substrates // Sensors and Actuators B: Chemical. 2011. Vol. 160, is. 1. P. 777—783. DOI: 10.1016/j.snb.2011.08.062.
  5. Prajzler V., Neruda M., Nekvindova P. et al. Properties of Multimode Optical Epoxy Polymer Waveguides Deposited on Silicon and TOPAS Substrate // Radioengineering. 2017. Vol. 26, N 1. P. 10—15. DOI: 10.13164/re.2017.0010.
  6. Immonen M. Fabrication and Characterization of Polymer Optical Waveguides With Integrated Micromirrors for Three-Dimensional Board-Level Optical Interconnects // IEEE Transactions on Electronics Packaging Manufacturing. 2005. Vol. 28, is. 4. P. 304—311. DOI: 10.1109/TEPM.2005.856538.
  7. Cai Z., Qiu W., Shao G. et al. A new fabrication method for all-PDMS waveguides // Sensors and Actuators A: Physical. 2013/ Vol. 204. P. 44—47. DOI: 10.1016/j.sna.2013.09.019.
  8. Sergeeva E. Fabrication of polymer-based optofluidic microsystems for optical fluid analysis on printed circuit boards: thesis for Dr.-Ing. Universität Rostock, Rostock, 2019. 143 p.
  9. Zhou W. Nanoimprint Lithography: An Enabling Process for Nanofabrication. Berlin—Heidelberg: Springer-Verlag, 2013. 269 p. DOI: 10.1007/978-3-642-34428-2.
  10. Радзиевская Т. А., Иванов Н. Н., Тарасов С. А. Подходы к снижению потерь на рассеяние в полимерных планарных оптических волноводах // Труды учебных заведений связи. 2021. Т. 7, № 1. С. 45—59. DOI:10.31854/1813-324X-2021-7-1-45-59.
  11. Madou M. J. Fundamentals of Microfabrication and Nanotechnology. 3rd ed. USA, Irvine: CRC Press, 2011. 1992 p. DOI: 10.1201/9781315274164.
  12. Mitra S. K. Microfluidics and nanofluidics handbook: Fabrication, implementation, and applications. USA, Irvine: CRC Press, 2011. 624 p. DOI: 10.1201/b11188.
  13. Ma H., Jen A. K.-Y., Dalton L. R. Polymer-Based Optical Waveguides: Materials, Processing, and Devices // Advanced Materials. 2002. Vol. 14, is. 19. P. 1339—1365. DOI: 10.1002/1521-4095(20021002)14:19<1339::AID-ADMA1339>3.0.CO;2-O.
  14. Осовицкий А. Н. Интегральный подход к измерению параметров шероховатости поверхности по рассеянию света в диэлектрических волноводах // Радиотехника и электроника. 2011. Т. 56, № 1. С. 43—47.
  15. Даниленко С. С. Оценка потерь в оптических пленочных волноводах с шероховатыми границами и поглощением. // Вестн. РУДН. Сер. Математика. Информатика. Физика. 2013. Вып. 1. С. 141—147.