priborИзвестия высших учебных заведений. ПриборостроениеJournal of Instrument Engineering0021-34542500-0381Национальный исследовательский университет ИТМО10.17586/0021-3454-2026-69-2-185-190pribor-471Research ArticleПРОЕКТИРОВАНИЕ И ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА ПРИБОРОВDESIGN AND PRODUCTION TECHNOLOGY OF INSTRUMENTSИзменение параметров шероховатости поверхности заготовок микроканальных пластин на различных стадиях механической обработкиChanging the Surface Roughness Parameters of Microchannel Plate Workpieces at Various Stages of Mechanical ProcessingСамканашвилиД. Г.SamkanashviliD. G.

Давид Геннадьевич Самканашвили — канд. техн. наук, доцент, директор по науке и инноватике,

 Владикавказ.

David G. Samkanashvili — PhD, Associate Professor, Director for Science and Innovation, Department of Scientific and Innovation Service,

Vladikavkaz.

david_210184@mail.ruАгасиевО. Б.AgasievO. B.

Олег Борисович Агасиев — инженер, лаборатория нанотехнологий,

Владикавказ.

Oleg B. Agasiev — Engineer, Laboratory of Nanotechnologies,

Vladikavkaz.

oleg.agasiev@mail.ruВладикавказский технологический центр „Баспик”РоссияVladikavkaz Baspik Technology CenterRussian Federation202613032026692185190Copyright © Национальный исследовательский университет ИТМО, 20262026Национальный исследовательский университет ИТМОНациональный исследовательский университет ИТМОhttps://pribor.ifmo.ru/jour/about/submissions#copyrightNoticehttps://pribor.ifmo.ru/jour/article/view/471

Исследовано изменение среднего арифметического отклонения оцениваемого профиля заготовок микроканальных пластин на стадиях механической обработки полуконтактным методом на сканирующем зондовом микроскопе. Представлен метод контроля изменения шероховатости поверхности заготовок микроканальных пластин на стадиях резания алмазным диском, шлифования и полирования. Показано, что предложенный метод контроля параметров структуры с использованием анализа АСМ-изображений поверхности микроканальных заготовок может быть применен для количественного анализа морфологии и топографии образцов в нано- и микрометровом диапазонах при изменении материалов или технологии механической обработки с целью уменьшения времени обработки и повышения производительности на этапах шлифования и полирования.

The change in the arithmetic mean deviation of the estimated profile of the blanks of microchannel plates at the stages of mechanical processing by the semi-contact method on a scanning probe microscope is investigated. A method for controlling changes in the surface roughness of blanks of microchannel plates at the stages of diamond disc cutting, grinding and polishing is presented. It is shown that the proposed method for controlling the structure parameters using AFM image analysis of the surface of microchannel workpieces can be used for quantitative analysis of the morphology and topography of samples in the nano- and micrometer ranges when changing materials or machining technology in order to reduce processing time and increase productivity at the stages of grinding and polishing.

поверхностьтопологиямикроканальная пластинашлифованиеполированиеsurfacetopologymicrochannel plategrindingpolishingReferencesБочкин И. О. Механическая обработка полупроводниковых материалов. М.: Высшая школа, 1983.Bochkin I.O. Mekhanicheskaya obrabotka poluprovodnikovykh materialov (Mechanical Processing of Semiconductor Materials), Moscow, 1983. (in Russ.)Перерозин М. А. Справочник по алмазной обработке стекла. М.: Машиностроение, 1987. 224 с.Pererozin M.A. Spravochnik po almaznoy obrabotke stekla (Handbook of Diamond Processing of Glass), Moscow, 1987, 224 р. (in Russ.)Смирнов В. А. Обработка оптического стекла. Л.: Машиностроение, 1969. 144 с.Smirnov V.A. Obrabotka opticheskogo stekla (Optical Glass Processing), Leningrad, 1969, 144 р. (in Russ.)Обейд А. Исследование динамики шероховатости поверхности стекол ВК7 и ТФ1 при обработке поверхностным притиром // Оптический журнал. 2005. Т. 72, № 12. С. 79–82.Obeid A. Journal of Optical Technology, 2005, no. 12(72), pp. 951–953, https://doi.org/10.1364/JOT.72.000951.Дубовой А. Н., Кулаков В. А., Носов С. А., Гаврищук Е. М., Тимофеев О. В. Использование атомно-силовой микроскопии при оценке характеристик поверхности оптических элементов, полученных на основе наноструктурированной керамики из халькогенидов цинка // Тез. докл. XVII Российского симпозиума по растровой электронной микроскопии и аналитическим методам исследования твердых тел. Черноголовка, 2011. С. 84.Dubovoy A.N., Kulakov V.A., Nosov S.A., Gavrishchuk E.M., Timofeev O.V. Tezisy dokladov XVII Rossiyskogo simpoziuma po rastrovoy elektronnoy mikroskopii i analiticheskim metodam issledovaniya tverdykh tel (Abstracts of the XVII Russian Symposium on Scanning Electron Microscopy and Analytical Methods for Solid State Research), Chernogolovka, 2011, рр. 84. (in Russ.)Миронов В. Л. Основы сканирующей зондовой микроскопии. Н. Новгород: Изд-во РАНИФМ, 2004. 110 с.Mironov V.L. Osnovy skaniruyushchey zondovoy mikroskopii (Fundamentals of Scanning Probe Microscopy), Nizhny Novgorod, 2004, 110 р. (in Russ.)Винокуров В. М. Исследование процесса полировки стекла. М.: Машиностроение, 1967. 196 с.Vinokurov V.M. Issledovaniye protsessa polirovki stekla (Study of the Glass Polishing Process), Moscow, 1967, 196 р. (in Russ.)Брандон Д., Каплан У. Микроструктура материалов. Методы исследования и контроля. М.: Техносфера, 2004. 384 с.Brandon D., Kaplan W.D. Microstructural Characterization of Materials, John Wiley & Sons, 2013. 560 р.Павлушкин Н. М., Сентюрин Г. Г., Ходаковская Р. Я. Практикум по технологии стекла и ситаллов. М.: Стройиздат, 1970.Pavlushkin N.M., Sentyurin G.G., Khodakovskaya R.Ya. Praktikum po tekhnologii stekla i sitallov (Workshop on Glass and Ceramic Glass Technology), Moscow, 1970. (in Russ.)Луценко А. Н., Одинцев И. Н., Гриневич А. В., Северов П. Б., Плугатарь Т. П. Исследование процесса деформации материала оптико-корреляционными методами // Авиационные материалы и технологии. 2014. № S4. С. 70–86. DOI: 10.18577/2071-9140-2014-0-s4-70-86.Lutsenko A.N., Odintsev I.N., Grinevich A.V., Severov P.B., Plugatar’ T.P. Aviatsionnyye materialy i tekhnologii, 2014, no. S4, pp. 70–86, DOI: 10.18577/2071-9140-2014-0-s4-70-86. (in Russ.)Золотарев В. М. Исследование поверхностного слоя, образующегося при обработке кварцевого стекла с помощью механохимического и ионного полирования // Оптика и спектроскопия. 2022. Т. 130, вып. 12. С. 1875– 1885.Zolotarev V.M. Optics and Spectroscopy, 2022, no. 12(130), pp. 1600–1610.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.