Владимир Константинович Кирилловский — д-р техн. наук, профессор,
Санкт-Петербург.
Vladimir K. Kirillovsky — Dr. Sci., Professor,
St. Petersburg.
Татьяна Вячеславовна Точилина — канд. техн. наук, ст. преподаватель,
Санкт-Петербург.
Tatiana V. Tochilina — PhD, Senior Lecturer,
St. Petersburg.
Представлен обобщенный анализ инновационной группы методов и приборов дифракционной интерферометрии в сопоставлении с традиционными интерферометрами. Рассмотрены новые возможности для снижения погрешности и повышения чувствительности измерений, получения надежных, метрологически высоких результатов. Надежность достигается с помощью дифракции и стабильного опорного волнового фронта, не чувствительного к вибрациям, термическим и гравитационным воздействиям. Фронт формируется с пренебрежимо малыми погрешностями в результате дифракции лазерного пучка, сфокусированного на точечном отверстии в металлическом экране. Отмечена целесообразность развития методов дифракционной интерферометрии на основе новых схемных решений и современной элементной базы с использованием оценки качества изображения оптических систем с помощью компьютерной расшифровки интерферограммы и математического аппарата интерферометрической обработки информации. Предложенный подход может быть применен в условиях реального оптического производства, медицинской практики и при научных исследованиях.
A generalized analysis of an innovative group of diffraction interferometry methods and instruments is presented in comparison with traditional interferometers. New possibilities are considered for reducing the error and increasing the sensitivity of measurements, obtaining reliable results of metrologically high quality. Reliability is achieved through diffraction and a stable reference wavefront that is not sensitive to vibration, thermal and gravitational influences. The devices considered use a reference wavefront formed on an unpolished optical surface. The front is formed with negligible errors as a result of diffraction of a laser beam focused on a pinhole in a metal screen. The feasibility of developing diffraction interferometry methods based on new schematic solutions and modern element base using assessment of the image quality of optical systems with computer decoding of the interferogram and the mathematical apparatus of interferometric information processing is noted. The proposed approach can be applied in real optical production, medical practice, and scientific research.
The authors declare that there are no conflicts of interest present.