Изменение параметров шероховатости поверхности заготовок микроканальных пластин на различных стадиях механической обработки

Исследовано изменение среднего арифметического отклонения оцениваемого профиля заготовок микроканальных пластин на стадиях механической обработки полуконтактным методом на сканирующем зондовом микроскопе. Представлен метод контроля изменения шероховатости поверхности заготовок микроканальных пластин на стадиях резания алмазным диском, шлифования и полирования. Показано, что предложенный метод контроля параметров структуры с использованием анализа АСМ-изображений поверхности микроканальных заготовок может быть применен для количественного анализа морфологии и топографии образцов в нано- и микрометровом диапазонах при изменении материалов или технологии механической обработки с целью уменьшения времени обработки и повышения производительности на этапах шлифования и полирования.

1. Бочкин И. О. Механическая обработка полупроводниковых материалов. М.: Высшая школа, 1983.

2. Перерозин М. А. Справочник по алмазной обработке стекла. М.: Машиностроение, 1987. 224 с.

3. Смирнов В. А. Обработка оптического стекла. Л.: Машиностроение, 1969. 144 с.

4. Обейд А. Исследование динамики шероховатости поверхности стекол ВК7 и ТФ1 при обработке поверхностным притиром // Оптический журнал. 2005. Т. 72, № 12. С. 79–82.

5. Дубовой А. Н., Кулаков В. А., Носов С. А., Гаврищук Е. М., Тимофеев О. В. Использование атомно-силовой микроскопии при оценке характеристик поверхности оптических элементов, полученных на основе наноструктурированной керамики из халькогенидов цинка // Тез. докл. XVII Российского симпозиума по растровой электронной микроскопии и аналитическим методам исследования твердых тел. Черноголовка, 2011. С. 84.

6. Миронов В. Л. Основы сканирующей зондовой микроскопии. Н. Новгород: Изд-во РАНИФМ, 2004. 110 с.

7. Винокуров В. М. Исследование процесса полировки стекла. М.: Машиностроение, 1967. 196 с.

8. Брандон Д., Каплан У. Микроструктура материалов. Методы исследования и контроля. М.: Техносфера, 2004. 384 с.

9. Павлушкин Н. М., Сентюрин Г. Г., Ходаковская Р. Я. Практикум по технологии стекла и ситаллов. М.: Стройиздат, 1970.

10. Луценко А. Н., Одинцев И. Н., Гриневич А. В., Северов П. Б., Плугатарь Т. П. Исследование процесса деформации материала оптико-корреляционными методами // Авиационные материалы и технологии. 2014. № S4. С. 70–86. DOI: 10.18577/2071-9140-2014-0-s4-70-86.

11. Золотарев В. М. Исследование поверхностного слоя, образующегося при обработке кварцевого стекла с помощью механохимического и ионного полирования // Оптика и спектроскопия. 2022. Т. 130, вып. 12. С. 1875– 1885.