DOI 10.17586/0021-3454-2016-59-12-1043-1048
УДК 621.7.077, 681.513.3
ИССЛЕДОВАНИЕ ПРЕДМЕТНОГО СТОЛИКА С БИМОРФНЫМИ ПЬЕЗОАКТЮАТОРАМИ
Санкт-Петербургский государственный политехнический университет, кафедра автоматов; доцент
Фи З. Х.
Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого; аспирант
Читать статью полностью
Аннотация. Проанализированы варианты многокоординатных платформ приборов для микропозиционирования объектов. Предложен двухкоординатный предметный столик микроскопа с параллельной кинематикой и пьезоэлектрическим приводом на базе биморфных пьезоактюаторов. Приведены результаты экспериментальных исследований действующего макета столика и сделаны выводы по их использованию.
Ключевые слова: предметный столик, конструкция, биморфные пьезоэлектрические актюаторы, эксперименты, микроперемещение, напряжение, гистерезис
Список литературы:
Список литературы:
- Li Y. and Xu Q. Development and assessment of a novel decoupled XY parallel micropositioning platform // IEEE/ASME Transact. on Mechatronics. 2010. Vol. 15, N 1.
- Kang D. Development of six-axis parallel nano-positioning system based on flexure joints and piezoelectric stepping positioners: Ph.D. Thesis. KAIST, 2007. 100 p.
- Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG [Электронный ресурс]: http://www.physikinstrumente.com/products.html.
- Бардин В. А. Системы управления высокоточными устройствами позиционирования на основе пьезоэлектрических актюаторов: Дис. ... канд. техн. наук. Пенза, 2015. 169 с.
- Ciofani G., Menciassi A. Piezoelectric Nanomaterials for Biomedical Applications. Berlin—Heidelberg: Springer-Verlag, 2012. 245 p.
-
Подгорный О. В., Лазарев В. Н., Говорун В. М. Лазерная микродиссекция в биологии и медицине [Электронный ресурс]: http://www.tsitologiya.cytspb.rssi.ru/54_5/podgorny_ms.pdf
-
APC International, Ltd. [Электронный ресурс]:
- Попов В. Д. Исследование гистерезиса биморфных деформируемых зеркал [Электронный ресурс]: http://pvd2.narod.ru/publ/hysteresis/hysteresis.htm.
- Andò B., Giannone P., and Graziani S. A Low-Cost Experimental Setup to Characterize Piezoelectric Cantilever Bimorphs // IEEE Transact. on Instrumentation and Measurement. 2008. Vol. 57, N 1.
- Смирнов А. Б. Элементная база автоматических машин и оборудования. Мехатронные модули микроперемещений технологических машин. СПб: Изд-во Политехн. ун-та, 2008. 172 с.
