Аннотация. Выполнена оценка различных способов настройки интерференционных полос. Рассмотрены особенности двулучевой голографической регистрации и восстановления исходного и возмущенного состояний диффузно отражающей поверхности. Проведена количественная оценка ошибки измерения: отклонение одного из опорных пучков на 10–5 рад приведет к набегу объектной волны на 0,22 доли интерференционной полосы; погрешность определения фазы интерференционных полос δφ = 2π·0,22. Интерферометрия сдвига по сравнению с двулучевой интерферометрией позволяет использовать один опорный пучок при прочих равных условиях, что на два порядка повышает точность измерений: δφ = 2π·0,22·10–2. Проанализирована разность фаз лучей на выходе интерферометра поперечного сдвига (интерферометр Жамена), который позволяет определить диапазон измерений величины вектора смещения. Определены максимальная δd = 1,5 мм и минимальная 0,01 мкм величины измеряемого смещения.

Ключевые слова: голографическая интерферометрия, фазовый набег световой волны, диффузно отражающая поверхность, интерферометр Жамена, интерферометр поперечного сдвига, диапазон измерений величины вектора смещения

Список литературы:

1. Powell R. L., Stetson K. A. Interferometric analysis by wavefront reconstruction // J. Opt. Soc. Am. 1965. Vol. 55. P. 1593—1599.
2. Александров Е. Б., Бонч-Бруевич А. М. Исследование поверхностных деформаций с помощью голограммной техники // ЖТФ. 1967. Т. 37, вып. 2. С. 360—365.
3. Пат. 2289098 РФ. Способ определения деформаций диффузно отражающих объектов / О. П. Большаков, И. Р. Котов, Е. Е. Майоров, О. В. Майорова, В. Т. Прокопенко, В. В. Хопов. 2006. Бюл. 34.
4. Майоров Е. Е., Прокопенко В. Т., Ушверидзе Л. А. Расчет параметров сканирования интерферометрической системы контроля формы диффузно отражающих объектов // Приборы. 2012. № 7(145). С. 23—25.
5. Майоров Е. Е., Прокопенко В. Т., Ушверидзе Л. А. Оптимизация динамических параметров оптического щупа триггерного типа // Науч.-техн. вестн. информационных технологий, механики и оптики. 2012. № 2(78). С. 13—16.
6. Majorov E. E., Prokopenko V. T. A limited-coherence interferometer system for examination of biological objects // Biomedical Engineering. 2012. Vol. 46, N 3. P. 109—111.
7. Майоров Е. Е., Прокопенко В. Т. Исследование влияния спекл-структуры на формирование интерференционного сигнала и погрешность измерений // Научное приборостроение. 2013. Т. 23, № 2. С. 38—46.
8. Майоров Е. Е. Метод устранения влияния декорреляции спекл-полей на точность измерений и динамический диапазон интерференционного сигнала // Научное обозрение. 2013. № 9. С. 329—332.
9. Maiorov E. E., Prokopenko V. T., Sherstobitova A. S. Investigating an optoelectronic system for interpreting holographic interferograms // J. of Optical Technology. 2013. Vol. 80, N 3. P. 162—165.
10. Майоров Е. Е., Прокопенко В. Т. Интерферометрия диффузно отражающих объектов. СПб: НИУ ИТМО, 2014. 193 с.
11. Maiorov E. E., Prokopenko V. T., Ushveridze L. A. A system for the coherent processing of specklegrams for dental tissue surface examination // Biomedical Engineering. 2014. Vol. 47, N 6. P. 304—306.
12. Майоров Е. Е., Машек А. Ч., Удахина С. В., Цыганкова Г. А., Хайдаров Г. Г., Черняк Т. А. Разработка компьютерной интерференционной системы контроля негладких поверхностей // Приборы. 2015. № 11(185). С. 26—31.
13. Майоров Е. Е., Машек А. Ч., Удахина С. В., Цыганкова Г. А., Хайдаров Г. Г., Черняк Т. А. Алгоритмы обработки информационного сигнала компьютерной интерференционной системы контроля негладких поверхностей // Научное приборостроение. 2015. Т. 25, № 4. С. 61—66.