Аннотация. Представлен анализ погрешностей изготовления формирующих структуру оптического покрытия слоев, результаты которого позволяют определить слой, максимально влияющий на спектральные характеристики покрытия. Оценивается чувствительность интерференционного покрытия к отклонению геометрических толщин слоев от расчетных значений. В процессе выявления слоя, максимально влияющего на стабильность спектральной характеристики, толщины слоев поочередно заменяются на некие, отличающиеся от расчетных на известную величину. Для вновь полученной структуры определяется оценочная функция. Слой, которому соответствует максимальное значение оценочной функции, считается наиболее чувствительным к неточностям изготовления слоев.

Ключевые слова: интерференционное покрытие, устойчивость покрытия, оптические толщины, спектральные характеристики, чувствительность слоев

Список литературы:

1. Губанова Л. А., Путилин Э. С. Оптические покрытия. СПб: Лань, 2016. 268 с. 
2. Ершов А. В., Машин А. И. Многослойные оптические покрытия. Проектирование, материалы, особенности технологии получения методом электронно-лучевого испарения. Н. Новгород: Нижегородск. гос. ун-т, 2006. С. 8—18.
3. Macleod Н. A. Thin-Film Optical Filter. London: Adam Hilger, 1969. P. 55.
4. Dobrowolski J. A. Optical Properties of Films and Coating. N. Y., 1995. Vol. I.
5. Dobrowolski J. A., Ho F. C., Belkind A., Koss V. A. Merit functions for more effective thin film calculations // Applied Optics. 1989. Vol. 28, iss. 14. P. 2824—2831.
6. Dobrowolski J. A. Versatile computer program for absorbing optical thin film systems // Applied Optics. 1981. Vol. 20, N 1. P. 74—81.
7. Li Li, Dobrowolski J. A., Jacobson M., Cooksey C. Broadband transmission filter from the 2013 Optical Interference Coating manufacturing problem contest // Applied Optics. 2014. Vol. 53, N 4. P. A248—A258.
8. Tang J. F., Zheng Q. Automatic design of optical thin-film systems — merit function and numerical optimization method // Opt. Soc. of America. 1982. Vol. 72, N 11.