Аннотация. Представлен метод балансировки чувствительного элемента маятникового акселерометра путем лазерного испарения металла. Рассматривается процесс юстировки балансировочного груза микромеханического акселерометра для нижнеего и верхнего положений чувствительного элемента по отношению к вертикали. Чувствительным элементом прибора служит физический маятник. При использовании микромеханического маятникового акселерометра в качестве датчика пороговая чувствительность будет определять чувствительность микромеханического акселерометра к наклону основания в поле сил земного притяжения. Выведены расчетные формулы для нижнего и верхнего положений маятника. Для практической реализации рассматриваемого метода предлагается использовать технологию лазерного испарения материала с поверхности балансировочного груза.

Ключевые слова: чувствительный элемент, микромеханический акселерометр, маятниковый акселерометр, центр масс, лазерное испарение

Список литературы:

1. Калинкина М. Е., Козлов А. С., Лабковская Р. Я., Пирожникова О. И., Ткалич В. Л. Перспективы развития микроакселерометров // Альманах научных работ молодых ученых Университета ИТМО. 2018. Т. 1, № 66. 70 с.
2. Tkalich V. L., Labkovskaia R. I., Pirozhnikova O. I., Kalinkina M. E., Kozlov A. S. Analysis of errors in micromechanical devices // Proc. of the14th Intern. Sci.-Techn. Conf. on Actual Problems of Electronic Instrument Engineering (APEIE-2018). 2018. Vol. 1, N 6. P. 272—276.
3. Гладуш Г. Г., Смуров И. Ю. Физические основы лазерной обработки материалов. М.: ФИЗМАТЛИТ, 2017. 600 с.
4. Григорьян А. Г. Основы лазерной обработки материалов. М.: Машиностроение, 1989. 304 с.
5. Коробейников А. Г., Гришенцев А. Ю. Разработка и исследование многомерных математических моделей с использованием систем компьютерной алгебры. СПб: НИУ ИТМО, 2014. 100 с.
6. Коротеев Н. И., Шумай И. Л. Физика мощного лазерного излучения. М.: Наука, 1991. 312 с.
7. Кузенов В. В., Лебо А. И., Лебо И. Г., Рыжов С. В. Физико-математические модели и методы расчета воздействия мощных лазерных и плазменных импульсов на конденсированные и газовые среды. М.: МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2017. 328 с.
8. Лабковская Р. Я., Козлов А. С., Пирожникова О. И., Коробейников А. Г. Моделирование динамики чувствительных элементов герконов систем управления // Кибернетика и программирование. 2014. Т. 5. С. 70.
9. Исследование неравновесного импульсного нагрева металлов лазерным излучением / В. И. Мажукин. М., 1990. (Препринт /ИПМ, № 30).
10. Гришенцев А. Ю., Коробейников А. Г. Декомпозиция n-мерных цифровых сигналов по базису прямоугольных всплесков // Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики. 2012. № 4 (80). С. 75—79.