DOI 10.17586/0021-3454-2021-64-2-137-142
УДК 535.317
ПРИМЕНЕНИЕ КОМПЬЮТЕРНОГО ИЗОФОТОМЕТРИЧЕСКОГО МЕТОДА В ИНТЕРФЕРОМЕТРИИ
Санкт-Петербургский государственный университет инфор-мационных технологий, механики и оптики; профессор
Точилина Т. В.
Университет ИТМО, Санкт-Петербург, 197101, Российская Федерация; старший преподаватель
Читать статью полностью
Аннотация. Решена задача повышения точности интерференционных измерений путем выделения линий центров интерференционных полос — изофот. Интерферограмма может быть получена, в частности, на микроинтерферометре Линника. Рассматриваются принципы изофотометрии, используемые при компьютерной обработке интерферограмм. В основе изофотометрии лежит применение приемника-анализатора изображения, выполняющего преобразование интерференционного изображения с осуществлением функции преобразования типа comb. Благодаря такому преобразованию достигается повышение точности интерференционных измерений в 5—10 раз.
Ключевые слова: микроинтерферометр Линника, точность, интерферограмма, изофотометрия, изофота.
Список литературы:
Список литературы:
- Иванова Т. А., Кирилловский В. К. Проектирование и контроль оптики микроскопов. Л.: Машиностроение, 1984. 231 с.
- Порфирьев Л. Ф. Основы теории преобразования сигналов в оптико-электронных системах. Л.: Машиностроение, 1989. С. 31.
- Кирилловский В. К., Анитропова И. Л., Иванова Т. А. Синтез комплекса методов и унифицированных приборов оптического контроля. Л.: ЛИТМО, 1988. С. 32.
- Гаврилов Е. В., Кирилловский В. К. Современные кинообъективы и их контроль // Оптич. журн. 2005. Т. 72, № 10. С. 47—56.
- Кирилловский В. К., Точилина Т. В. Оптические измерения. Ч. 2. Теория чувствительности оптических измерительных наводок. Роль оптического изображения. СПб: Университет ИТМО, 2017. 65 c.
- Кирилловский В. К. Современные оптические исследования и измерения. СПб: Лань, 2010. 304 с.
- Кирилловский В. К., Точилина Т. В. Оптические измерения. Ч. 5. Аберрации и качество изображения. СПб: Университет ИТМО, 2019. С. 35.
- Кирилловский В. К., Точилина Т. В. Оптические измерения. Учеб. пос. по лабораторному практикуму. СПб: Университет ИТМО, 2014. 130 с.
- Коломийцев Ю. В. Интерферометры. Л.: Машиностроение, 1976. 295 с.
- Губайдуллин К. Р., Кирилловский В. К. Повышение точности микроинтерферометра Линника // Изв. вузов. Приборостроение. 2017. Т. 60, № 4. С. 381—385.
- Егоров В. А. Оптические и щуповые приборы для измерения для измерения шероховатости поверхности. М.: Машиностроение, 1965. 223 с.
- Бавыкин О. Б., Вячеславова О. Ф. Взаимосвязь свойств поверхности и ее фрактальной размерности // Известия МГТУ „МАМИ“. 2013. Т. 2, № 1(15). С. 14—18.
- Микроинтерферометр // Большая советская энциклопедия. М.: Сов. энциклопедия. 1969—1978. https://slovar.cc/enc/bse/2017912.html.
- Пат. RU2000110796А. Оптический интерферометр / А. А. Олейников. 2001.
- Клюев В. В., Соснин Ф. Р., Ковалев А. В. и др. Неразрушающий контроль и диагностика. Справочник. М.: Машиностроение. 2005. 655 с.
