Ссылка для цитирования : Майоров Е. Е., Арефьев А. В., Гулиев Р. Б., Пушкина В. П., Дагаев А. В. Исследование низкокогерентного интерферометрического зонда при работе в сканирующем режиме измерений // Изв. вузов. Приборостроение. 2024. Т. 67, № 9. С. 790–797. DOI: 10.17586/0021-3454-2024-67-9-790-797.

Аннотация. Представлен низкокогерентный интерферометрический зонд, работающий в сканирующем режиме измерений. Получены данные о рельефе поверхности при движении разработанного зонда и изменении разности хода опорного зеркала в плече интерферометра. Представлены функциональная схема оптического измерительного блока, сканирующий режим измерений, проанализирована обработка сигналов с фотоприемных устройств. Получены картина нерегулярных волновых фронтов при падении низкокогерентного излучения на негладкую поверхность, кривая интенсивности интерференционной картины при изменении рельефа поверхности вдоль оси OZ, а также результаты измерений амплитуды и огибающая интерференционного сигнала при расфокусировке.

Ключевые слова: интерференционный зонд, профиль, источник белого света, длина когерентности, шероховатость, ветвь интерферометра, амплитуда, огибающая

Список литературы:

1. Борн М., Вольф Э. Основы оптики. М.: Наука, 1970. 855 с. 2. Франсон М., Сланский С. Когерентность в оптике / Пер. с франц.; под ред. К. С. Шифрина. М.: Наука, 1967. 80 с. 3. Котов И. Р., Ситник Д. Н., Хопов В. В. Гетеродинная голографическая и спекл-интерферометрия // Прикладная физическая оптика: Сб. науч. трудов. М.: МЭИ, 1987. № 134. С.113–115. 4. Островский Ю. И., Танин Л. В. Перестраиваемый лазер на органическом красителе для резонансной интерферометрии и голографии // Журнал технической физики. 1975. Т. 45, № 8. С. 1756–1766. 5. Франсон М. Оптика спеклов / Пер. с франц.; под ред. Ю. И. Островского. М.: Мир, 1980. 171 с. 6. Коломийцев Ю. В. Интерферометры. Л.: Машиностроение, 1976. 296 с. 7. Клименко Н. С. Голография сфокусированных изображений и спекл-интерферометрия. М.: Наука, 1985. 224 с. 8. Хохлова М. В., Дагаев А. В., Майоров Е. Е., Арефьев А. В., Гулиев Р. Б., Громов О. В. Интерференционная система измерения геометрических параметров отражающих поверхностей // Международный науч.-исслед. журнал. 2021. № 6 (108). С. 184–189. 9. Хохлова М. В., Арефьев А. В., Майоров Е. Е., Гулиев Р. Б., Дагаев А. В., Громов О. В. Экспериментальное исследование метрологических характеристик разработанного оптического щупа триггерного типа // Приборы. 2021. № 5. С. 8–16. 10. Курлов В. В., Коцкович В. Б., Майоров Е. Е., Пушкина В. П., Таюрская И. С. Экспериментальное исследование разработанной интерференционной системы для измерений поверхности объектов сложной формы // Изв. ТулГУ. Технические науки. 2020. № 8. C. 179–189. 11. Бородянский Ю. М., Майоров Е. Е., Петрова Е. А., Попова Е. В., Курлов В. В., Удахина С. В. Измерение геометрических параметров поверхностей сложной формы низкокогерентной оптической системой // Приборы. 2022. № 5 (263). С. 3–7. 12. Майоров Е. Е., Колесниченко С. В., Константинова А. А., Машек А. Ч., Писарева Е. А., Цыганкова Г. А. Исследование флуктуаций фазы выходного сигнала системы фазовых измерений // Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика. 2021. № 9. С. 1–6. 13. Майоров Е. Е., Черняк Т. А., Костин Г. А. Применение высокочувствительных фотоматериалов на основе галогенидов серебра для исследования влияния отклонений подложек спеклограмм на результаты измерений // Приборы. 2023. № 5. (275). С. 51–54. 14. Костин Г. А., Черняк Т. А., Майоров Е. Е. Экспериментальное исследование фазоизмерительной установки обработки спеклограмм // Изв. ТулГУ. Технические науки. 2023. Вып. 4. С. 109-112. DOI: 10.24412/2071-61682023-4-109-112. 15. Майоров Е. Е., Костин Г. А., Черняк Т. А. Реализация метода спекл-фотографии для контроля диффузно отражающих поверхностей объектов // Научное приборостроение. 2023. Т. 33, № 2. C. 75–83. 16. Майоров Е. Е. Исследование сложных форм поверхностей когерентно ограниченной во времени системой // Моделирование и ситуационное управление качеством сложных систем: Сб. докл. Четвертая Всерос. науч. конф. Санкт-Петербург, 18–22 апр. 2023 г. СПб: ГУАП, 2023. C. 65–68.