УМЕНЬШЕНИЕ ШЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИ СИТАЛЛОВОЙ ПОДЛОЖКИ ДО НАНОРАЗМЕРНЫХ ЗНАЧЕНИЙ
Ижевский государственный технический университет, кафедра лазерных систем; доцент
Скворцова И. Н.
Институт прикладной механики Уральского отд. РАН; аспирант
Читать статью полностью
Аннотация. Рассматривается возможность изменения шероховатости поверхности стандартной ситалловой подложки СТ-50-1 в результате воздействия на нее СО2- лазерного излучения. Приведены режимы обработки поверхности, при которых величина выступов не превышает 20 нм, и показано, что их величина может быть уменьшена до значений, позволяющих формировать на поверхности нано- структуры. Рассмотрен вопрос временной стабильности сформированной поверхности. Контроль топологии поверхности осуществлен на сканирующем зондовом микроскопе Solver P47 Pro.
Ключевые слова:
наноструктура, зондовая микроскопия, воздействие излучения на вещество, ситалл.
