ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ХАРАКТЕРИСТИК ПЬЕЗОПРИВОДОВ НОВОГО ПОКОЛЕНИЯ
Университет ИТМО; доцент
Быстров С. В.
Университет ИТМО, Санкт-Петербург, 197101, Российская Федерация; доцент
Коровьяков А. Н.
Университет ИТМО; доцент кафедры систем управления и информатики
Салмыгин И. П.
Университет ИТМО, кафедра систем управления и информатики; ст. преподаватель
Читать статью полностью
Аннотация. Экспериментально определены характеристики пьезоприводов с тонкопленочными низковольтными пьезоактюаторами. Проанализированы потенциально достижимые значения технических характеристик описываемых пьезоприводов для микроперемещений управляемых модулей прецизионных приборных уст- ройств.
Ключевые слова:
пьезоактюатор, математическая модель пьезопривода, параметры пьезокерамики.
