АВТОМАТИЗИРОВАННЫЙ БЫСТРОДЕЙСТВУЮЩИЙ ЛАЗЕРНЫЙ ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ ПРОЗРАЧНЫХ ПЛЕНОК
Северо-Западный заочный технический университет, кафедра физики, Санкт-Петербург; аспирант
Иванов А. С.
Северо-Западный заочный технический университет, кафедра физики, Санкт-Петербург; доцент
Манухов В. В.
Северо-Западный заочный технический университет, кафедра физики, Санкт-Петербург; аспирант
Федорцов А. Б.
Северо-Западный заочный технический университет, кафедра физики, Санкт-Петербург; профессор
Читать статью полностью
Аннотация. Изложены принципы интерферометрических измерений толщины прозрачных полупроводниковых и диэлектрических слоев. Приведено описание модернизированного интерферометра: его оптико-механический тракт, электронная схема и программное обеспечение. Представлены математическое обоснование принципов измерения и электрическая схема регистрации сигнала; описана программа обработки данных на ПК.
Ключевые слова:
тонкая пленка, интерферометр, лазер, оптическая схема, обработка сигнала
