ГЕОМЕТРИЧЕСКОЕ ПРЕДСТАВЛЕНИЕ СИГНАЛА,ОСНОВАННОЕ НА ПОНЯТИИ О ФАЗОВОМ ПРОСТРАНСТВЕ, В ЛАЗЕРНОЙ ДИФРАКТОМЕТРИИ МИКРООБЪЕКТОВ
Университет ИТМО; научн. сотрудник кафедры квантовой электроники и биомедицинской оптики
Читать статью полностью
Аннотация. Проанализированы фазовые изображения измерительных сигналов, используемых в дифрактометрии. Предложена методика исключения избыточности сигнала, позволяющая представить параметры сигнала параметрами его фазового изображения. Такой подход позволяет получить новый информативный параметр, однозначно связанный с контролируемым размером микрообъекта.
Ключевые слова: лазерная дифрактометрия микрообъектов, информативный параметр сигнала
