ПОВЫШЕНИЕ РАЗРЕШАЮЩЕЙ СПОСОБНОСТИ ЛАЗЕРНОЙ ТЕРМОХИМИЧЕСКОЙ ЗАПИСИ НА ТОНКИХ ПЛЕНКАХ ХРОМА ПУТЕМ МНОГОКРАТНОГО ВОЗДЕЙСТВИЯ
Санкт-Петербургский государственный университет ин-формационных технологий, механики и оптики; профессор
Синев Д. А.
Университет ИТМО, Санкт-Петербург, 197101, Российская Федерация; кандидат технических наук
Читать статью полностью
Аннотация. Теоретически исследован способ увеличения разрешения планарных структур, записываемых с помощью технологии локального лазерного окисления тонких пленок хрома с последующим травлением путем многократного воздействия на область.
Ключевые слова: лазерное окисление, дифракционные структуры, металлическая пленка
