АНАЛИЗ ШЕРОХОВАТОСТИ ПРЕЦИЗИОННЫХ ОПТИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ МЕТОДА ИНТЕРФЕРЕНЦИОННОЙ МИКРОСКОПИИ
Национальный исследовательский университет „Высшая школа экономики“, кафедра радиоэлектроники и телекоммуникаций; ОАО НИИ „Полюс“ им. М. Ф. Стельмаха, Москва; доцент; начальник лаборатории
Цветкова Т. В.
Национальный исследовательский университет „Высшая школа экономики“, кафедра радиоэлектроники и телекоммуникаций; ОАО НИИ „Полюс“ им. М. Ф. Стельмаха, Москва; аспирант; инженер по метрологии
Читать статью полностью
Аннотация. Рассмотрены особенности применения метода некогерентной интерферометрии для оценки параметров шероховатости прецизионных оптических поверхностей. Приведены результаты измерений, полученные с помощью зондового профилометра и интерферометра белого света.
Ключевые слова:
прецизионные оптические поверхности, шероховатость, интерферометрия
