Донин Валерий Ильич
Место работы: Институт автоматики и электрометрии СО РАН
Ученая степень: д-р физ.-мат. наук
E-mail: donin@iae.nsk.su
Ученая степень: д-р физ.-мат. наук
E-mail: donin@iae.nsk.su
Донин В. И. ВЫСОКОЭФФЕКТИВНЫЙ ИСТОЧНИК НЕПРЕРЫВНОГО ДАЛЬНЕГО ВАКУУМНОГО УЛЬТРАФИОЛЕТОВОГО
ИЗЛУЧЕНИЯ ДЛЯ ОБРАБОТКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ
Статья опубликована в выпуске 6(52) за 2009
Статья опубликована в выпуске 6(52) за 2009
