ISSN 0021-3454 (print version)
ISSN 2500-0381 (online version)
Menu

3
Issue
vol 60 / MARCH, 2017
Article
UDC 539.234

НАНЕСЕНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК СИЛИЦИДОВ МЕТАЛЛОВ МЕТОДАМИ PLD И LIFT

Муленко С. А.
;


Кудрявцев Ю. В.
;


Горбачук Н. Т.
;


Лучес А. .
;


Карикато А. П.
;


A. A. Petrov
ITMO University, 197101, Saint-Petersburg, Russian Federation; Associate professor


V. . Chuiko
ITMO University; senior lecturer


Abstract. Для осаждения тонких пленок и слоев использованы импульсное лазерное осаждение и лазерно-индуцированный перенос пленок. Излучением KrF-лазера произведена абляция материала мишени из CrSi2 или β-FeSi2 с целью получения тонкой пленки или слоя силицида с малой шириной запрещенной зоны для последующего использования в качестве чувствительного элемента сенсора.