ISSN 0021-3454 (печатная версия)
ISSN 2500-0381 (онлайн версия)
Меню

11
Содержание
том 60 / НОЯБРЬ, 2017
СТАТЬЯ
УДК 539.234

НАНЕСЕНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК СИЛИЦИДОВ МЕТАЛЛОВ МЕТОДАМИ PLD И LIFT

Муленко С. А.
;


Кудрявцев Ю. В.
;


Горбачук Н. Т.
;


Лучес А. .
;


Карикато А. П.
;


Петров А. А.
Университет ИТМО, Санкт-Петербург, 197101, Российская Федерация; доцент


Чуйко В. А.
Университет ИТМО; старший преподаватель


Аннотация. Для осаждения тонких пленок и слоев использованы импульсное лазерное осаждение и лазерно-индуцированный перенос пленок. Излучением KrF-лазера произведена абляция материала мишени из CrSi2 или β-FeSi2 с целью получения тонкой пленки или слоя силицида с малой шириной запрещенной зоны для последующего использования в качестве чувствительного элемента сенсора.