Аннотация. Рассмотрена задача высокоточного контроля радиусов кривизны оптических зеркал, применяемого для современного метрологического обеспечения в оптических технологиях. Выполнен сравнительный анализ технических характеристик современных интерференционных систем и оптико-электронных приборов на основе датчиков волнового фронта типа Шака—Гартмана (ДВФ). Предложено оригинальное схемотехническое решение, позволяющее использовать оптико-электронные приборы на основе датчиков волнового фронта для измерения радиусов кривизны оптических поверхностей. Предложен и научно обоснован новый высокоточный метод контроля радиусов кривизны поверхностей зеркал с относительным отверстием 0,1 с допустимой погрешностью измерения менее 0,01 % от номинала. Проанализирован выходной параметр функциональной схемы прибора на основе ДВФ — предельный радиус регистрируемого волнового фронта.

Ключевые слова: измерение радиуса кривизны, параметры формы, датчик волнового фронта, высокоточный контроль, систематическая погрешность измерения

Список литературы:

1. Nikitin A. N., Kudryashov A. V., Sheldakova J., Denisov D., Karasik V., Sakharov A. Hartmannometer vs Fizeau interferometer: advantages and drawbacks // SPIE Conf. and Exhibitions "Photonics West—2015". San Francisco, California, 7—12 February 2015. P. 9369-5.
2. Nikitin A. N., Sheldakova J., Kudryashov A. V., Borsoni G., Denisov D., Karasik V., Sakharov A. A device based on the Shack-Hartmann Wave Front sensor for testing wide aperture optics // SPIE Conf. Photonics West, Opto, Photonic Instrumentation Engineering III. San Francisco, California, 13—18 February 2016. Vol. 9754. P. 97540K-01.
3. Neal D. R., Copland J., and Neal D. Shack-Hartmann wavefront sensor precision and accuracy // Advanced Characterization Techniques for Optical, Semiconductor, and data Storage Components. 2002. Vol. 4779. P. 148—160.
4. Шанин О. И. Адаптивные оптические системы в импульсных мощных лазерных установках. М.:Техносфера, 2012. 200 с. ISBN 978-5-94836-313-4.
5. Neal D. R., Gruetzner J. K., Topa D. M., Roller J. Use of beam parameters in optical component testing // Proc. SPIE. 2001. Vol. 4451. P. 394—405.
6. Neal D. R., Armstrong D. J. and Turner W. T. Wavefront sensors for control and process monitoring in optics manufacture // Proc. SPIE. 1997. Vol. 2993. P. 211—220.