DOI 10.17586/0021-3454-2017-60-12-1177-1183
УДК 004.627
УСЛОВИЕ ПОЛУЧЕНИЯ ПОСТОЯННОГО КОЭФФИЦИЕНТА ОТРАЖЕНИЯ ОТ СФЕРИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ БОЛЬШОЙ КРИВИЗНЫ
Университет ИТМО, Санкт-Петербург, 197101, Российская Федерация; студент
Губанова Л. А.
Университет ИТМО, Санкт-Петербург, 197101, Российская Федерация; профессор
Нгуен В. Б.
Университет ИТМО, кафедра оптоинформационных технологий и материалов; аспирант
Читать статью полностью
Аннотация. Рассмотрен способ увеличения размера зоны просветления, определенного как отношение радиуса зоны поверхности оптического элемента, в которой отражение меньше некоторой величины, к радиусу элемента (ρ/R). Увеличение достигается за счет использования круглой диафрагмы, находящейся между испарителем и подложкой, которая экранирует часть молекулярного потока испаряемого вещества и перераспределяет его на заданном участке поверхности оптической детали. Показано, что размер зоны просветления увеличивается на 17 % при формировании однослойного просветляющего покрытия с показателем преломления n1 = 1,35 на поверхности оптической детали большой кривизны (радиус R = 10 мм), изготовленной из материала с показателем преломления nm = 1,52. Проанализированы факторы, влияющие на размер зоны просветления, при использовании круглой диафрагмы; показано распределение энергети-ческого коэффициента отражения однослойного просветляющего покрытия по поверхности оптического элемента большой кривизны.
Список литературы:
1. Губанова Л. А., Хоанг Лонг Тхань, До Тай Тан. Исследование распределения коэффициента отражения просветляющих покрытий на оптических деталях малого радиуса // Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики. 2015. Т. 15, № 2. С. 234—240.
2. Губанова Л. А., Хоанг Т. Л. Увеличение зоны просветления оптического элемента малого радиуса путем нанесения покрытий с заданным распределением толщины // Изв. вузов. Приборостроение. 2016. Т. 59, № 10. С. 860—866.
3. Губанова Л. А. Градиентные интерференционные системы: Дис. … докт. техн. наук. СПб: СПбИТМО, 2008. 243 с.
4. Gubanova L. A., Putilin E. S. Forming gradient layers on spherical substrates // J. of Optical Technology. 2008. Vol. 75, N 4. P. 278—281.
5. Дмитренко В. А. Технология получения тонкопленочных покрытий с переменным отражением: Дис. ... канд. техн. наук. СПб, 2003. 153 c. РГБ ОД, 61:04-5/2003.
6. Tomofuji T., Okada N., Hiraki S., Murakami A., Nagatsuka J. A new coating technique for lenses which have steep curved surface // Optical Interference Coatings. OSA Technical Digest Series. 2001. Art. MD2.
7. Путилин Э. С. Губанова Л. А. Оптические покрытия. СПб: Лань, 2016. 268 c.
8. Baumeister P. W. Optical Coating Technology. SPIE Press monograph, 2004. 840 p.
9. Кузин А. А., Заблоцкий А. В., Батурин А. С., Лапшин Д. А., Мелентьев П. Н., Балыкин В. И. Способ создания микролинз диаметром менее 50 нм для нанолитографии методами атомной проекционной оптики // Наносистемы, наноматериалы, нанотехнологии. 2009. Т. 7, № 1. С. 163—168.
10. Петухов В.Ю., Гумаров Г. Г. Ионно-лучевые методы получения тонких пленок: Учеб.-метод. пособие для студ. физ. ф-та. Казань, 2010. 87 с.
11. Борисенко В. Е., Воробьева А. И. Наноэлектроника. Ч. 2. Мн.: БГУИР, 2003. 77 с.
12. Macleod H. A. Thin-Film Optical Filters. 4th ed. Boca Raton, FL: CRC Press, 2010. 800 p.
13. Herzig H. P. Micro-Optics: Elements, Systems and Applications. CRC Press, 1997. 600 р.
14. Holland L. Vacuum Deposition of Thin-Films. London: Chapman and Hall, 1966.
15. Губанова Л. А. Формирование градиентных слоев на сферических подложках // Оптический журнал. 2008. Т. 75, № 4. С. 87—91.
