ИНФОРМАЦИОННЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИХ ГИРОСКОПОВ НА ОСНОВЕ КРЕМНИЕВОЙ ТЕХНОЛОГИИ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИХ СИСТЕМ
Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения, кафедра аэрокосмических систем ориентации, навигации и стабилизации; Зав. кафедрой
Золотарев С. К.
ФГУП „НИИ Командных приборов“, Санкт-Петербург; Начальник отдела
Овчинникова Н. А.
Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения, кафедра аэрокосмических систем ориентации, навигации и стабилизации; Ассистент
Панферов А. И.
Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения, кафедра аэрокосмических систем ориентации, навигации и стабилизации; Доцент
Пономарев В. К.
Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения, кафедра аэрокосмических систем ориентации, навигации и стабилизации; Доцент
Читать статью полностью
Аннотация. Проанализированы основные информационные характеристики различных типов микромеханических гироскопов, реализуемых по кремниевой технологии. Основное внимание уделяется стабилизации масштабных коэффициентов преобразования, полосе частот пропускания, линейности и погрешностям преобразования.
Ключевые слова:
микромеханические гироскопы, микроэлектромеханические системы.
