ОПТИКО-ЭЛЕКТРОННЫЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ЛИНЕЙНЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ СУБМИКРОННОЙ ТОЧНОСТИ
Университет ИТМО, кафедра компьютеризации и проектирования оптических приборов; студент
Прокофьев А. В.
Университет ИТМО; младший научный сотрудник
Читать статью полностью
Аннотация. Рассматривается инкрементный оптико-электронный преобразователь линейных перемещений субмикронной точности, предназначенный для комплектации многокоординатного механообрабатывающего оборудования. Приведены результаты измерения погрешности преобразователя.
Ключевые слова:
линейные перемещения, оптико-электронный преобразователь перемещений, дифракционная решетка
