Рыхлицкий Сергей Владимирович
Место работы: Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН, лаборатория эллипсометрии
Ученая степень: канд. техн. наук
E-mail: rhl@isp.nsc.ru
Ученая степень: канд. техн. наук
E-mail: rhl@isp.nsc.ru
Швец В. А., Рыхлицкий С. В., Спесивцев Е. В., Михайлов Н. Н. ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКИЙ КОНТРОЛЬ ПАРАМЕТРОВ ВЫРАЩИВАЕМЫХ НАНОРАЗМЕРНЫХ ГЕТЕРОСТРУКТУР
Статья опубликована в выпуске 6(52) за 2009
Статья опубликована в выпуске 6(52) за 2009
