Аннотация. Представлен оптико-электронный прибор, работающий в сканирующем и триг герном режимах измерений, реализованный на базе интерферометра Майкель сона. Проанализирована поверхность сложной формы, где поперечное движе ние объекта при модуляции оптической длины объектного плеча интерферо метра приводит к случайной модуляции интерференционного сигнала спекл структурой отраженной объектной волны и к ошибке измерения. Предложен способ минимизации влияния спекл-модуляции интерференционного сигнала на результат измерений, заключающийся в увеличении числа независимых из мерений за время одного прохода оптической измерительной головки с после дующим их усреднением. Способ реализуется посредством введения дополни тельной модуляции оптической разности хода. Приведены экспериментальные данные, позволяющие определить дискретность измерений и границу допусти мой скорости движения контролируемого диффузно отражающего объекта при динамических измерениях.

Ключевые слова: спекл-модуляция, опорное зеркало, диффузно отражающий объект, оптическая измерительная головка, триггерный режим, сканирующий режим, интерферометр Майкельсона

Список литературы:

1. Борн М., Вольф Э. Основы оптики. М.: Наука, 1970. 855 с.
2. Коломийцев Ю. В. Интерферометры. Л.: Машиностроение, 1976. 296 c.
3. Франсон М. Оптика спеклов / Пер. с франц.; Под ред. Ю. И. Островского. М.: Мир, 1980. 171 с.
4. Majorov E. E., Prokopenko V. T. A limited-coherence interferometer system for examination of biological objects // Biomedical Engineering. 2012. Vol. 46, N 3, P. 109—111.
5. Maiorov E. E., Prokopenko V. T., Sherstobitova A. S. Investigating an optoelectronic system for interpreting holographic interferograms // J. of Optical Technology. 2013. Vol. 80, N 3. P. 162—165.
6. Maiorov E. E., Prokopenko V. T., Ushveridze L. A. A system for the coherent processing of specklegrams for dental tissue surface examination // Biomedical Engineering. 2014. Vol. 47, N 6. P. 304—306.
7. Майоров Е. Е., Прокопенко В. Т., Ушверидзе Л. А. Оптимизация динамических параметров оптического щупа триггерного типа // Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики. 2012. № 2 (78). С. 13—16.
8. Майоров Е. Е., Прокопенко В. Т. Исследование влияния спекл-структуры на формирование интерференционного сигнала и погрешность измерений // Научное приборостроение. 2013. Т. 23, № 2. С. 38—46.
9. Майоров Е. Е. Метод устранения влияния декорреляции спекл-полей на точность измерений и динамический диапазон интерференционного сигнала // Научное обозрение. 2013. № 9. С. 329—332.
10. Майоров Е. Е., Машек А. Ч., Удахина С. В., Цыганкова Г. А., Хайдаров Г. Г., Черняк Т. А. Разработка компьютерной интерференционной системы контроля негладких поверхностей // Приборы: науч.-техн. журн. МНТО ПМ. 2015. № 11 (185). С. 26—31.
11. Майоров Е. Е., Машек А. Ч., Удахина С. В., Цыганкова Г. А., Хайдаров Г. Г., Черняк Т. А. Алгоритмы обработки информационного сигнала компьютерной интерференционной системы контроля негладких поверхностей // Научное приборостроение. 2015. Т. 25, № 4. С. 61—66.
12. Майоров Е. Е., Прокопенко В. Т. Интерферометрия диффузно отражающих объектов: Монография. СПб: НИУ ИТМО, 2014. 193 с.