ISSN 0021-3454 (печатная версия)
ISSN 2500-0381 (онлайн версия)
Меню

9
Содержание
том 64 / Сентябрь, 2021
СТАТЬЯ

DOI 10.17586/0021-3454-2016-59-10-860-866

УДК 681.7.064.454

УВЕЛИЧЕНИЕ ЗОНЫ ПРОСВЕТЛЕНИЯ ОПТИЧЕСКОГО ЭЛЕМЕНТА МАЛОГО РАДИУСА ПУТЕМ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ С ЗАДАННЫМ РАСПРЕДЕЛЕНИЕМ ТОЛЩИНЫ

Губанова Л. А.
Университет ИТМО, Санкт-Петербург, 197101, Российская Федерация; профессор


Хоанг Л. Т.
Университет ИТМО, Санкт-Петербург, 197101, Российская Федерация; студент


Читать статью полностью 

Аннотация. Исследовано распределение энергетического коэффициента отражения по поверхности оптического элемента малого радиуса (2—12 мм), на которой сформировано просветляющее покрытие (слои покрытия имеют заданное распределение геометрической толщины). Установлено: при рассматриваемой конструкции покрытия относительный размер зоны просветления, отношение радиуса поверхности оптического элемента, в котором коэффициент отражения меньше некоторой величины, к его радиусу — ρ/r, не зависит от радиуса кривизны оптического элемента, изготовленного из одного материала. Этот размер зависит от показателя преломления материала, из которого изготовлен оптический элемент (nm), и конструкции просветляющего покрытия. При значении коэффициента отражения меньше 1 % возможно получить максимальную зону просветления ρ/r = 80 % для однослойных покрытий, 82 % — для двуслойных и 81,5 % — для трехслойных. Показано, что с увеличением числа слоев покрытия зона просветления незначительно увеличивается, но работает в более широком диапазоне длин волн. Результаты исследования позволяют сделать вывод, что для увеличения зоны просветления нужно формировать слои с неким заданным распределением геометрической толщины.
Ключевые слова: просветляющее покрытие, зона просветления, оптическая деталь малого радиуса

Список литературы:
  1. Herzig H. P. Micro-Optics: Elements, Systems and Applications. CRC Press, 1997. 600 р.
  2. Rancourt J. D. Optical Thin Films: User Handbook. Bellingham: SPIE, 1996. 304 р.
  3. Кузин А. А., Заблоцкий А. В., Батурин А. С., Лапшин Д. А., Мелентьев П. Н., Балыкин В. И. Способ создания микролинз диаметром менее 50 нм для нанолитографии методами атомной проекционной оптики // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнологii. 2009. Т. 7, № 1. С. 163—168.
  4. Хрячков В. В., Федосов Ю. Н., Давыдов А. И., Шумилов В. Г., Федько Р. В. Эндоскопия. Базовый курс лекций. M.: ГЭОТАР-Медиа, 2012. 160 с.
  5. Хацевич Т. Н., Михайлов И. О. Эндоскопы: Уч. пособие. Новосибирск: СГГА, 2002. 196 с.
  6. Macleod H. A. Thin-Film Optical Filters. 4th ed. Boca Raton, FL: CRC Press, 2010. 800 p.
  7. Baumeister P. W. Optical Coating Technology // SPIE Press monograph, 2004. V. PM137. 840 p.
  8. Grunwald R., Mischke H., Rehak W. Microlens formation by thin-film deposition with mesh-shaped masks // Appl. Optics. 1999. Vol. 38, N 19. P. 4117—4124.
  9. Hermans K., Hamidi S. Z., Spoelstra A. B., Bastiaansen C. W. M., Broer D. J. Rapid, direct fabrication of antireflection-coated microlens arrays by photoembossing // Appl. Optics. 2008. Vol. 47, N 35. P. 6512—6517. DOI: 10.1364/AO.47.006512
  10. Tomofuji T., Okada N., Hiraki S., Murakami A., Nagatsuka J. A new coating technique for lenses which have steep curved surface // Optical Interference Coatings. OSA Technical Digest Series. 2001. Art. MD2.
  11. Карасев Н. Н., Нужин А. В., Старовойтов С. Ф., Путилин Э. С., Большанин А. Ф., Машехин В. Т., Слободянюк А. А. Оптические технологии. СПб: СПбГУ ИТМО, 2006. 98 с.
  12. Котликов Е. Н., Варфоломеев Г. А., Лавровская Н. П., Тропин А. Н., Хонинева Е. В. Проектирование, изготовление и исследование интерференционных покрытий: Уч. пособие. СПб: ГУАП, 2009.
  13. Губанова Л. А., Хоанг Лонг Тхань, До Тай Тан. Исследование распределения коэффициента отражения просветляющих покрытий на оптических деталях малого радиуса // Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики. 2015. Т. 15, № 2. С. 234—240.
  14. Ершов А. В., Машин А. И. Многослойные оптические покрытия. Проектирование, материалы, особенности технологии получения методом электроннолучевого испарения. Н. Новгород: ННГУ, 2006. 99 с.
  15. Путилин Э. С. Оптические покрытия: Уч. пособие. СПб: СПбГУ ИТМО, 2010. 227 с.