DOI 10.17586/0021-3454-2016-59-10-884-887
УДК 681.5
ДИНАМИЧЕСКАЯ МОДЕЛЬ КОНЦЕНТРАЦИИ ПЫЛИ ДЛЯ САУ ПРОИЗВОДСТВОМ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ
СПбГУАП, кафедра инноватики и интегрированных систем качества; аспирант
Читать статью полностью
Аннотация. Рассматривается уточненная модель динамики климатического параметра — концентрации пыли — в воздухе чистого помещения при производстве микроэлектроники. Представленное математическое описание параметра позволяет построить адекватную имитационную модель климатической динамической системы. На основе разработанной модели в среде MatLab получены результаты, подтверждающие эффективность использования нечеткого регулирования при управлении климатической динамической системой в условиях непрогнозируемых возмущений, когда традиционные ПИД-регуляторы теряют устойчивость.
Ключевые слова: система автоматического управления, параметры микроклимата, микроэлектроника, управление качеством, чистая комната
Список литературы:
Список литературы:
- Антохина Ю. А., Варжапетян А. Г., Иняц Н., Оводенко А. А., Семенова Е. Г., Смирнова М. С. Интеграция моделей, методов и инструментов управления проектами: монография. СПб: Политехника, 2015. 360 с.
- Пешко М. С. Раскрытая математическая модель микроклимата грибной теплицы // Молодой ученый. 2011. № 9. С. 42—48.
- Алёшкин Н. А. К вопросу о совершенствовании интеллектуальных технологий аппаратно-программного обеспечения при управлении качеством производства специальной микроэлектроники // Вопросы радиоэлектроники. Сер. „Радиолокационная техника“. 2015. Вып. 4. С. 150—160.
- Семенов В. Г., Крушель Е. Г. Математическая модель микроклимата теплицы // Изв. ВолгГТУ. 2009. № 6. С. 140.
- Проектирование чистых помещений / Под ред. В. Уайта. М.: Клинрум, 2004.
- Аль Джубури Иссам М. А. Автоматическое регулирование микроклимата в зданиях и сооружениях на базе нечеткой логики // Строительный вестник Российской инженерной академии. Тр. секции „Строительство“. 2008. Вып.9. С. 193—198.
- Усков А. А. Системы с нечеткими моделями объектов управления. Смоленск: Смоленский филиал АНО ВПО ЦС РФ „Российский университет кооперации“, 2013. 153 с.
