ISSN 0021-3454 (печатная версия)
ISSN 2500-0381 (онлайн версия)
Меню

10
Содержание
том 62 / Ноябрь, 2019
СТАТЬЯ

DOI 10.17586/0021-3454-2016-59-12-1034-1042

УДК 681.7.08

ВЫСОКОТОЧНЫЙ МЕТОД КОНТРОЛЯ РАДИУСОВ КРИВИЗНЫ ОПТИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ

Барышников Н. В.
МГТУ им. Н. Э. Баумана, кафедра лазерных и оптико-электронных систем; заведующий кафедрой


Денисов Д. Г.
МГТУ им. Н. Э. Баумана, кафедра лазерных и оптико-электронных систем; доцент


Карасик В. Е.
Московский государственный технический университет им. Н.Э. Баумана, кафедра лазерных и оптико-электронных систем; зам. заведующего кафедрой


Кудряшов А. В.
Московский государственный машиностроительный университет (МАМИ); заведующий кафедрой


Никитин А. Н.
ООО „Институт Адаптивной Оптики“; научный сотрудник


Сахаров А. А.
МГТУ им. Н. Э. Баумана, кафедра лазерных и оптико-электронных систем; ст. преподаватель


Читать статью полностью 

Аннотация. Рассмотрена задача высокоточного контроля радиусов кривизны оптических зеркал, применяемого для современного метрологического обеспечения в оптических технологиях. Выполнен сравнительный анализ технических характеристик современных интерференционных систем и оптико-электронных приборов на основе датчиков волнового фронта типа Шака—Гартмана (ДВФ). Предложено оригинальное схемотехническое решение, позволяющее использовать оптико-электронные приборы на основе датчиков волнового фронта для измерения радиусов кривизны оптических поверхностей. Предложен и научно обоснован новый высокоточный метод контроля радиусов кривизны поверхностей зеркал с относительным отверстием 0,1 с допустимой погрешностью измерения менее 0,01 % от номинала. Проанализирован выходной параметр функциональной схемы прибора на основе ДВФ — предельный радиус регистрируемого волнового фронта.
Ключевые слова: измерение радиуса кривизны, параметры формы, датчик волнового фронта, высокоточный контроль, систематическая погрешность измерения

Список литературы:
  1. Nikitin A. N., Kudryashov A. V., Sheldakova J., Denisov D., Karasik V., Sakharov A. Hartmannometer vs Fizeau interferometer: advantages and drawbacks // SPIE Conf. and Exhibitions "Photonics West—2015". San Francisco, California, 7—12 February 2015. P. 9369-5.
  2. Nikitin A. N., Sheldakova J., Kudryashov A. V., Borsoni G., Denisov D., Karasik V., Sakharov A. A device based on the Shack-Hartmann Wave Front sensor for testing wide aperture optics // SPIE Conf. Photonics West, Opto, Photonic Instrumentation Engineering III. San Francisco, California, 13—18 February 2016. Vol. 9754. P. 97540K-01.
  3. Neal D. R., Copland J., and Neal D. Shack-Hartmann wavefront sensor precision and accuracy // Advanced Characterization Techniques for Optical, Semiconductor, and data Storage Components. 2002. Vol. 4779. P. 148—160.
  4. Шанин О. И. Адаптивные оптические системы в импульсных мощных лазерных установках. М.:Техносфера, 2012. 200 с. ISBN 978-5-94836-313-4.
  5. Neal D. R., Gruetzner J. K., Topa D. M., Roller J. Use of beam parameters in optical component testing // Proc. SPIE. 2001. Vol. 4451. P. 394—405.
  6. Neal D. R., Armstrong D. J. and Turner W. T. Wavefront sensors for control and process monitoring in optics manufacture // Proc. SPIE. 1997. Vol. 2993. P. 211—220.