ISSN 0021-3454 (печатная версия)
ISSN 2500-0381 (онлайн версия)
Меню

4
Содержание
том 63 / Апрель, 2020
СТАТЬЯ

DOI 10.17586/0021-3454-2020-63-2-143-148

УДК 681.7.023.72

МЕТОДИКА ПОЛУЧЕНИЯ СВЕРХГЛАДКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ ОПТИЧЕСКИХ ЭЛЕМЕНТОВ ИЗ СЕЛЕНИДА ЦИНКА

Буй Д. Б.
технический университет имени Ле Куй Дона, кафедра Оптических приборов; преподаватель


Нгуен З. Х.
Университет ИТМО, Санкт-Петербург, 197101, Российская Федерация; Аспирант


Аннотация. Исследован процесс механического полирования селенида цинка с использованием в качестве полирующего материала водно-гликолевой суспензии алмазов: монокристаллического АСМ и поликристаллического RDDM. На основании полученных результатов разработана методика механического полирования ZnSe, позволяющая получать шероховатость 0,227 нм, при этом отклонение в форме поверхности не превышает одного кольца.
Ключевые слова: селенид цинка, шероховатость, полирование, оптический элемент заданной формы

Список литературы:
  1. Gavrushchuk E. M. Polycrystalline Zinc Selenide for IR Optical Applications // Inorganic Materials. 2003. Vol. 39, N 9. P. 883—899.
  2. Bryzgalov A. N., Musatov V. V., and Buz’ko V. V. Optical properties of polycrystalline zinc selenide // Semiconductors. 2004. Vol. 38, N 3. P. 310—312.
  3. Li D. et al. Optical Constants of Zinc Selenide at 373 and 423 K in the Wavelength Range of 2—15 μm // J. of Applied Spectroscopy. 2016. Vol. 83, N 3. P. 512—516.
  4. Qi H. et al. Optical Constants of Zinc Selenide in Visible and Infrared Spectral Ranges // J. of Applied Spectroscopy. 2017. Vol. 84, N 4. P. 679—682.
  5. Balabanov S. S. et al. Spatial Distribution of Impurity Defect Centers in Fe-Doped Polycrystalline Zinc Selenide // Inorganic Materials. 2019. Vol. 55, N 5. P. 423—431.
  6. Shalimova K. V., Dima I., and Pirogova N. V. Electrical properties of polycrystalline films of zinc selenide, cubic modification // Soviet Physics J. 1966. Vol. 9, N 2. P. 87—89.
  7. Bogdankevich O. V. and Zverev M. M. Some Properties of a Zinc Selenide Laser // Physics of p-n Junctions and Semiconductor Devices / Ed. by S. M. Ryvkin and Y. V. Shmartsev. Boston, MA: Springer, 1971. P. 204—208.
  8. Zhukova M. O. et al. An Investigation of the Transmission of Iron-Doped Zinc Selenide in the Terahertz-Frequency Range // Optics and Spectroscopy. 2018. Vol. 124, N 5. P. 687—690.
  9. Patent US 3869323A. Method of polishing zinc selenide / J. S. Basi. 28.12.1973.
  10.  Gavrishchuk E. M. et al. Polishing of ZnSe using rosin-based resins // Inorganic Materials. 2006. Vol. 42, N 7. P. 699—704.
  11.  Gavrishchuk E. M. et al. Study of the process of polishing polycrystalline zinc selenide using rosin-based polishing resin // J. of Optical Technology. 2008. Vol. 75, N 9. P. 603—607.
  12.  Vilkova E. Y. and Timofeev O. V. Mechanical polishing of ZnSe using rosin-based resins // Inorganic Materials. 2010. Vol. 46, N 3. P. 264—268.
  13.  Vilkova E. Y. and Timofeev O. V. Etching and chemical mechanical polishing of ZnSe using inorganic acids // Inorganic Materials. 2012. Vol. 48, N 5. P. 451—455.
  14.  Tomashyk V. Optimization of conditions for treatment of ZnSe crystal surfaces by chemical etching // Semiconductor Physics Quantum Electronics and Optoelectronics. 2013. Vol. 16. P. 140—145.
  15. Vilkova E. Y. et al. Variation of the surface roughness of CVD ZnSe undergoing mechanical processing as a function of the grain size of the suspension // J. of Optical Technology. 2013. Vol. 80, N 9. P. 577—581.
  16.  Gavrishchuk E. M. et al. Effect of Polishing Conditions on the Optical Properties of Zinc Selenide Surfaces // Inorganic Materials. 2004. Vol. 40, N 3. P. 217—220.
  17. Справочник технолога-оптика / Под ред. М. А. Окатова. СПб: Политехника, 2004. 679 с.