Ссылка для цитирования : Кирилловский В. К., Точилина Т. В. Дифракционные интерферометры. Аналитический обзор // Изв. вузов. Приборостроение. 2024. Т. 67, № 3. С. 257—267. DOI: 10.17586/0021-3454-2024-67-3-257-267.

Аннотация. Представлен обобщенный анализ инновационной группы методов и приборов дифракционной интерферометрии в сопоставлении с традиционными интерферометрами. Рассмотрены новые возможности для снижения погрешности и повышения чувствительности измерений, получения надежных, метрологически высоких результатов. Надежность достигается с помощью дифракции и стабильного опорного волнового фронта, не чувствительного к вибрациям, термическим и гравитационным воздействиям. Фронт формируется с пренебрежимо малыми погрешностями в результате дифракции лазерного пучка, сфокусированного на точечном отверстии в металлическом экране. Отмечена целесообразность развития методов дифракционной интерферометрии на основе новых схемных решений и современной элементной базы с использованием оценки качества изображения оптических систем с помощью компьютерной расшифровки интерферограммы и математического аппарата интерферометрической обработки информации. Предложенный подход может быть применен в условиях реального оптического производства, медицинской практики и при научных исследованиях.

Ключевые слова: дифракционные интерферометры, дифрагированный волновой фронт, погрешности измерений

Список литературы:

1. Кирилловский В. К. Современные оптические исследования и измерения. СПб—М.—Краснодар: Изд-во „Лань“, 2022. 303 с.
2. Кирилловский В. К., Точилина Т. В. Методы исследования и контроля качества оптических систем: Учеб. пособие. СПб: НИУ ИТМО, 2012. 125 с.
3. Кирилловский В. К., Точилина Т. В. Оптические измерения. Часть 5. Аберрации и качество изображения: Учеб. пособие. СПб: НИУ ИТМО, 2019. 94 с.
4. Иванова Т. А., Кирилловский В. К. Проектирование и контроль оптики микроскопов. Л.: Машиностроение, 1984. 231 с.
5. Кирилловский В. К., Вознесенский Н. Б., Ли К. Х., Гуров И. П. Сравнительный анализ интерферограмм, полученных на интерферометре с дифракционной волной сравнения // Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики. 2004. № 13. С. 198—203.
6. Кирилловский В. К., Ле Зуй Туан. Разработка алгоритмического и программного обеспечения для аппаратуры контроля качества изображения оптических систем // Изв. вузов. Приборостроение. 2007. Т. 50, № 7. С. 52—56.
7. Гаврилов Е. В., Кирилловский В. К. Современные кинообъективы и их контроль // Оптич. журн. 2005. Т. 72. № 10. С. 47—56.
8. Кирилловский В. К., Вознесенский Н. Б. Высокоапертурный дифракционный интерферометр с унифицированным опорным фронтом // Междунар. оптич. конгресс „Оптика-XXI век“: Сб. СПб, 2000.
9. Lee Kyeong-Hee, Voznesensky N. B., Kirillovsky V. K. Principle of certification of high precision optical parts and systems based on diffraction interferometer // Proc. SPIE 5252, Optical Fabrication, Testing, and Metrology, 26 Febr. 2004. DOI: 10.1117/12.512231.
10. Kirillovsky V. K., Voznesensky N. B., Trouchine M. M. The interferometer with diffraction on dot aperture for testing of the shape errors of precise surfaces // Proc. SPIE 5399, Laser-Assisted Micro- and Nanotechnologies 2003. DOI: 10.1117/12.552324.
11. Кирилловский В. К., Точилина Т. В. Оптические измерения. Часть 4. Оценка качества оптического изображения и измерение его характеристик: Учеб. пособие. СПб: Ун-т ИТМО, 2018. 86 с.
12. Богданов И. Ю., Гаврилов Е. В., Кирилловский В. К. Особенности контроля объектива для формирования наноструктур // Научно-технический вестник СПбГУ ИТМО. 2008. № 58. С. 26—30.
13. Kirillovsky V. K. Diffraction Reference Wavefront Laser Interferometer // Proc. SPIE 1751, Miniature and Micro-Optics: Fabrication and System Applications II. 1992. Vol. 5, 1751. Р. 197—200.
14. Кирилловский В. К. Изучение принципов современной прецизионной интерферометрии на примере дифракционных интерферометров // Междунар. оптич. конгресс „Оптика-XXI век“: Сб. СПб, 2000.