ISSN 0021-3454 (печатная версия)
ISSN 2500-0381 (онлайн версия)
Меню

11
Содержание
том 60 / НОЯБРЬ, 2017
СТАТЬЯ
УДК 621.315.592; 621.315.51.6; 621.3.049.77.14

СТРУКТУРА НАНОКЛАСТЕРОВ КРЕМНИЯ В СИСТЕМЕ КРЕМНИЙ — ДИОКСИД КРЕМНИЯ

Скворцов А. М.
Университет ИТМО, Санкт-Петербург, 197101, Российская Федерация; профессор


Фам К. Т.
Университет ИТМО, кафедра прикладной и компьютерной оптики; аспирант


Читать статью полностью 

Аннотация. Представлен обзор публикаций, посвященных исследованию различных структур нанокластеров кремния в слоях диоксида кремния. Показано, что при фор- мировании нанокластеров кремния на монокристаллических кремниевых под- ложках методом нанолитографии поверхности с последующим термическим окислением или методом лазерного облучения окисленного кремния нанокластеры чаще всего имеют кристаллическую структуру; при использовании других методов требуется дополнительная обработка, в частности высокотемпературный отжиг. Указывается на возможность использования массива нанокри- сталлов кремния для создания цифровых устройств наноэлектроники.
Ключевые слова:

нанокластер, нанокомпозит, нанокристалл, структура нанокластера.