СТРУКТУРА НАНОКЛАСТЕРОВ КРЕМНИЯ В СИСТЕМЕ КРЕМНИЙ — ДИОКСИД КРЕМНИЯ
Университет ИТМО, Санкт-Петербург, 197101, Российская Федерация; профессор
Фам К. Т.
Университет ИТМО, кафедра прикладной и компьютерной оптики; аспирант
Читать статью полностью
Аннотация. Представлен обзор публикаций, посвященных исследованию различных структур нанокластеров кремния в слоях диоксида кремния. Показано, что при фор- мировании нанокластеров кремния на монокристаллических кремниевых под- ложках методом нанолитографии поверхности с последующим термическим окислением или методом лазерного облучения окисленного кремния нанокластеры чаще всего имеют кристаллическую структуру; при использовании других методов требуется дополнительная обработка, в частности высокотемпературный отжиг. Указывается на возможность использования массива нанокри- сталлов кремния для создания цифровых устройств наноэлектроники.
Ключевые слова:
нанокластер, нанокомпозит, нанокристалл, структура нанокластера.
