ЛАЗЕРНОЕ ФОРМИРОВАНИЕ НАНОРАЗМЕРНЫХ СТРУКТУР
Сибирская государственная геодезическая академия, кафедра физики; доцент
Чесноков В. В.
Сибирская государственная геодезическая академия, кафедра физики; профессор
Читать статью полностью
Аннотация. Рассмотрены перспективные методы получения упорядоченных массивов наноструктур при использовании относительно недорогой лазерной техники с наносекундной длительностью импульса.
Ключевые слова:
лазерный пиролиз, плазмохимическое травление, лазерный перенос, массив наноструктур.
