ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ КОНСТРУКТИВНО-ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ФАКТОРОВ НА ТОЧНОСТНЫЕ ПАРАМЕТРЫ ГИБРИДНО-ПЛЕНОЧНОГО МИКРОТЕРМОСТАТА
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, кафедра конструирования и производства радиоаппаратуры; доцент
Карабан В. М.
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, кафедра конструирования и производства радиоаппаратуры; аспирант
Аннотация. Исследуется проблема изучения поля температур термостабильной подложки микросхемы с использованием конечно-разностных методов. Приведены результаты численного моделирования двумерных нестационарных температурных полей термостабильной подложки с учетом реальных механизмов теплообмена для пропорционального регулятора температуры гибридно-пленочного микротермостата.
Ключевые слова:
микротермостат, термостабильная подложка, ошибка регулирования, выход на режим.
