МОДЕРНИЗАЦИЯ ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКИХ ФОТОЭЛЕКТРОННЫХ СПЕКТРОМЕТРОВ ЭС-2401 И ЭС-3201
Физико-технический институт УрО РАН, Ижевск, отдел физики и химии наноматериалов; ведущий инженер-конструктор
Мерзляков П. Г.
ООО „Чистые технологии“; ведущий конструктор
Валеев Г. Р.
ООО „Чистые технологии“; конструктор
Читать статью полностью
Аннотация. Приведено описание разработанных конструктивных технологических узлов спектрометров ЭС-2401 и ЭС-3201 в целях расширения их экспериментальных возможностей для проведения исследований в области материаловедения и нанотехнологий.
Ключевые слова:
спектрометр, модернизация, шлюзовая камера, удаление поверхностного слоя.
