БЕСКОНТАКТНЫЙ КОНТРОЛЬ МИКРООБЪЕКТОВ МЕТОДАМИ ИНТЕРФЕРОМЕТРИИ МАЛОЙ КОГЕРЕНТНОСТИ И ОПТИЧЕСКОЙ КОГЕРЕНТНОЙ ТОМОГРАФИИ
Университет ИТМО, Санкт- Петербург, 197101, Российская Федерация; Институт автоматики и проблем управления Дальневосточного отделения Российской академии наук, Владивосток, 690041, Российская Федерация; доцент; ведущий научный сотрудник
Воробьева Е. А.
Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики; младший науч. сотрудник
Гуров И. П.
Университет ИТМО, Санкт-Петербург, 197101, Российская Федерация; зав. кафедрой
Маргарянц Н. Б.
Университет ИТМО, Санкт-Петербург, 197101, Российская Федерация; старший научный сотрудник
Читать статью полностью
Аннотация. Рассмотрены основные характеристики методов интерферометрии малой когерентности и оптической когерентной томографии применительно к задачам исследований микрорельефа поверхности и внутренней микроструктуры различных материалов с высокой разрешающей способностью. Представлены примеры практического использования рассмотренных методов при исследованиях рельефа поверхности полимерного материала, внутренней микроструктуры материала бумаги и микроструктуры лакового слоя при оценке состояния предметов живописи для последующей реставрации с применением лазерных технологий.
Ключевые слова:
бесконтактный контроль, микрообъекты, методы интерферометрии малой когерентности, оптическая когерентная томография.
