СОЗДАНИЕ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫХ ПОКРЫТИЙ С УЛУЧШЕННЫМИ МЕХАНИЧЕСКИМИ СВОЙСТВАМИ НА ОСНОВЕ СМЕСОВЫХ ПЛЕНОК
Университет ИТМО, Санкт-Петербург, 197101, Российская Федерация; профессор
Зверев В. А.
Университет ИТМО, кафедра оптических технологий; аспирант
Читать статью полностью
Аннотация. Рассмотрены возможности создания новых пленкообразующих материалов с улучшенными, по сравнению с традиционными материалами, механическими свойствами (адгезия к подложке, механические напряжения, твердость и т.д.) на основе смесовых пленок.
Ключевые слова:
смесовые пленки, вакуумное напыление, механические напряжения, адгезия, микротвердость
