ПОГРЕШНОСТЬ ОПРЕДЕЛЕНИЯ РАЗМЕРА МИКРООБЪЕКТА КРУГЛОЙ ФОРМЫ ДИФРАКЦИОННЫМ МЕТОДОМ ПРИ НЕРАВНОМЕРНОЙ АМПЛИТУДЕ ОБЛУЧАЮЩЕГО СВЕТОВОГО ПОЛЯ
Университет ИТМО; ст. науч. сотр., зам. начальника отделения лазерной физики, техники и медицины кафедры квантовой электроники и биомедицинской оптики
Митрофанов А. С.
Университет ИТМО; профессор кафедры квантовой электроники и биомедицинской оптики
Фефилов Г. Д.
Университет ИТМО; научн. сотрудник кафедры квантовой электроники и биомедицинской оптики
Читать статью полностью
Аннотация. Рассматривается влияние симметричной и несимметричной неравномерности распределения амплитуды облучающего поля на относительное изменение интервалов между минимумами интенсивности в дифракционной картине Фраунгофера при дифракции гауссова пучка на отверстии круглой формы.
Ключевые слова:
погрешность измерения, лазерная дифрактометрия микрообъектов, параметры лазерного излучения
