ISSN 0021-3454 (печатная версия)
ISSN 2500-0381 (онлайн версия)
Меню

12
Содержание
том 60 / ДЕКАБРЬ, 2017
СТАТЬЯ
УДК 531.715

ПОГРЕШНОСТЬ ОПРЕДЕЛЕНИЯ РАЗМЕРА МИКРООБЪЕКТА КРУГЛОЙ ФОРМЫ ДИФРАКЦИОННЫМ МЕТОДОМ ПРИ НЕРАВНОМЕРНОЙ АМПЛИТУДЕ ОБЛУЧАЮЩЕГО СВЕТОВОГО ПОЛЯ

Веселовский А. Б.
Университет ИТМО; ст. науч. сотр., зам. начальника отделения лазерной физики, техники и медицины кафедры квантовой электроники и биомедицинской оптики


Митрофанов А. С.
Университет ИТМО; профессор кафедры квантовой электроники и биомедицинской оптики


Фефилов Г. Д.
Университет ИТМО; научн. сотрудник кафедры квантовой электроники и биомедицинской оптики


Читать статью полностью 

Аннотация. Рассматривается влияние симметричной и несимметричной неравномерности распределения амплитуды облучающего поля на относительное изменение интервалов между минимумами интенсивности в дифракционной картине Фраунгофера при дифракции гауссова пучка на отверстии круглой формы.
Ключевые слова:

погрешность измерения, лазерная дифрактометрия микрообъектов, параметры лазерного излучения