ISSN 0021-3454 (печатная версия)
ISSN 2500-0381 (онлайн версия)
Меню

11
Содержание
том 60 / НОЯБРЬ, 2017
СТАТЬЯ
УДК 53.082.5

ГЕОМЕТРИЧЕСКОЕ ПРЕДСТАВЛЕНИЕ СИГНАЛА,ОСНОВАННОЕ НА ПОНЯТИИ О ФАЗОВОМ ПРОСТРАНСТВЕ, В ЛАЗЕРНОЙ ДИФРАКТОМЕТРИИ МИКРООБЪЕКТОВ

Фефилов Г. Д.
Университет ИТМО; научн. сотрудник кафедры квантовой электроники и биомедицинской оптики


Читать статью полностью 

Аннотация. Проанализированы фазовые изображения измерительных сигналов, используемых в дифрактометрии. Предложена методика исключения избыточности сигнала, позволяющая представить параметры сигнала параметрами его фазового изображения. Такой подход позволяет получить новый информативный параметр, однозначно связанный с контролируемым размером микрообъекта.
Ключевые слова: лазерная дифрактометрия микрообъектов, информативный параметр сигнала