ISSN 0021-3454 (печатная версия)
ISSN 2500-0381 (онлайн версия)
Меню
Автор

Сидоров Виктор Иванович

Место работы: Филиал Института физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН „Конструкторско-технологический институт прикладной микроэлектроники“
Должность: вед. инженер-конструктор
E-mail: vsidorov@gmail.com
Паулиш А. Г., Сидоров В. И., Федоринин В. Н., Шатов В. А. ПЬЕЗООПТИЧЕСКИЙ ДАТЧИК ДЕФОРМАЦИИ И МЕТОД КОНТРОЛЯ ПАРАМЕТРОВ ДВИЖЕНИЯ ПОДЪЕМНЫХ МЕХАНИЗМОВ
Статья опубликована в выпуске 6(61) за 2018