ISSN 0021-3454 (печатная версия)
ISSN 2500-0381 (онлайн версия)
Меню
Автор
int(19753)

Федоринин Виктор Николаевич

Место работы: Филиал Института физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН „Конструкторско-технологический институт прикладной микроэлектроники“
Должность: руководитель Филиала
Ученая степень: канд. техн. наук
E-mail: oos@oesd.ru
Паулиш А. Г., Сидоров В. И., Федоринин В. Н., Шатов В. А. ПЬЕЗООПТИЧЕСКИЙ ДАТЧИК ДЕФОРМАЦИИ И МЕТОД КОНТРОЛЯ ПАРАМЕТРОВ ДВИЖЕНИЯ ПОДЪЕМНЫХ МЕХАНИЗМОВ
Статья опубликована в выпуске 6(61) за 2018
Федоринин В. Н., Кузнецов С. А., Швец В. А., Аржанников А. В., Гельфанд А. В., Горшков А. Ю. ЭЛЛИПСОМЕТРИЯ МИЛЛИМЕТРОВОГО ДИАПАЗОНА В ЗАДАЧАХ ДИАГНОСТИКИ КОМПОЗИЦИОННЫХ МАТЕРИАЛОВ
Статья опубликована в выпуске 6(66) за 2023