Аннотация. Представлены математические модели динамики упругих мембранных чувствительных элементов, входящих в состав тензорезистивных микродатчиков давления. Моделирование по методу конечных элементов осуществлено в условиях комплексных механических и температурных нагрузок на тензорезистивный микродатчик давления. При построении моделей учитывались силы вязкого трения, связанные с наличием контакта чувствительного элемента с вязкоупругим клеевым слоем. Адекватность предложенных моделей подтверждена сравнением расчетных значений с данными экспериментальных исследований. Разработанные математические модели динамики упругих мембранных чувствительных элементов позволяют обеспечить высокие показатели надежности и хорошую конкурентоспособность этой элементной базы систем управления. Созданный пакет прикладных программ, предназначенный для работы в современных компьютерных средах, позволяет визуализировать результаты, полученные при математическом моделировании динамики упругих мембранных чувствительных элементов.

Ключевые слова: упругие мембранные чувствительные элементы, метод конечных элементов, комплексные воздействия, математические модели динамики, тензорезистивные микродатчики давления

Список литературы:

1. Лабковская Р. Я., Пирожникова О. И., Ткалич В. Л. Метод повышения надежности упругих чувствительных элементов систем управления и автоматики // Научно-технический вестник СПбГУ ИТМО. 2011. № 1(71). С. 136—138.
2. Лабковская Р. Я., Ткалич В. Л., Пирожникова О. И. Разработка библиотеки конечных элементов для САПР упругих конструкций герконов // Изв. вузов. Приборостроение. 2013. Т. 56, № 3. С. 21—24.
3. Лабковская Р. Я., Ткалич В. Л. Библиотека конечных элементов в приложении к упругим чувствительным элементам пластин и мембран датчиков систем управления // Научная перспектива. Уфа, 2010. № 3—4. С. 86—89.
4. Лабковская Р. Я. Исследование статики и динамики мембранных и пластинчатых электромеханических элементов систем управления // Сб. докл. конгр. молодых ученых. СПб: НИУ ИТМО, 2014. Вып. 1. С. 202—203.