DOI 10.17586/0021-3454-2018-61-3-267-273
УДК 681.23: 681.787.7
СПОСОБ УСТРАНЕНИЯ ПОГРЕШНОСТИ ПРОДОЛЬНОЙ СОСТАВЛЯЮЩЕЙ СПЕКЛ-СТРУКТУРЫ ПРИ РАБОТЕ ИНТЕРФЕРОМЕТРА МАЙКЕЛЬСОНА
Университет ИТМО, Санкт-Петербург, 197101, Российская Федерация; профессор
Майоров Е. Е.
Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения; доцент
Машек А. Ч.
Военная академия связи им. С. М. Буденного, кафедра физики и математики, Санкт-Петербург ; старший преподаватель
Цыганкова Г. А.
Военно-морской политехнический институт, кафедра физики; доцент
Жаркова Т. В.
МВАА, кафедра математических, естественно-научных и общепрофессиональных дисциплин; доцент
Хохлова М. В.
ВКА им. А. Ф. Можайского, кафедра физики; доцент
Писарева Е. А.
Михайловская военная артиллерийская академия, кафедра математических, естественно-научных и общепрофессиональных дисциплин; ст. преподаватель
Читать статью полностью
Аннотация. Рассматривается работа интерферометра Майкельсона в двух режимах измерений — триггерном и сканирующем. Предложен способ устранения погрешности, вносимой продольной составляющей спекл-структуры при работе прибора в триггерном режиме. Рассмотрен случай относительно медленной поперечной составляющей случайной модуляции объектного сигнала, вследствие которой появляется продольная составляющая, приводящая к росту погрешности измерений. Сформулированы требования к параметрам микросканирования.
Ключевые слова: интерферометр Майкельсона, спекл-структура, пространственное микросканирование, длина волны излучения, координатно-измерительное устройство
Список литературы:
Список литературы:
- Dresel T., Hausler G., Venzke H. Three-dimensional sensing of rough surfaces by coherence radar // Applied Optics. 1992. Vol. 31, N 7. P. 919—925.
- Hasier G., Herrmann F. Range sensing by shearing interferometry: influence of speckle // Applied Optics. 1988. Vol. 27, N 22. P. 4631—4637.
- Захарьевский А. Н. Интерферометры. М.: Оборонгиз, 1952. 296 c.
- Gu F., Hung Y., Chen F. Iteration algorithm for computer-aided speckle interferometry // Applied Optics. 1994. Vol. 33, N 23. P. 5308—5317.
- Майоров Е. Е., Прокопенко В. Т., Ушверидзе Л. А. Расчет параметров сканирования интерферометрической системы контроля формы диффузно отражающих объектов // Приборы. 2012. № 7 (145) С. 23—25.
- Майоров Е. Е., Прокопенко В. Т., Ушверидзе Л. А. Оптимизация динамических параметров оптического щупа триггерного типа // Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики. 2012. № 2 (78) С. 13—16.
- Majorov E. E., Prokopenko V. T. A limited-coherence interferometer system for examination of biological objects // Biomedical Engineering. 2012. Vol. 46, N 3. P. 109—111.
- Майоров Е. Е., Прокопенко В. Т. Исследование влияния спекл-структуры на формирование интерференционного сигнала и погрешность измерений // Научное приборостроение. 2013. Т. 23, № 2. С. 38—46.
- Майоров Е. Е. Метод устранения влияния декорреляции спекл-полей на точность измерений и динамический диапазон интерференционного сигнала // Научное обозрение. 2013. № 9. С. 329—332.
- Maiorov E. E., Prokopenko V. T., Sherstobitova A. S. Investigating an optoelectronic system for interpreting holographic interferograms // J. of Optical Technology. 2013. Vol. 80, N 3. P. 162—165.
- Майоров Е. Е., Прокопенко В. Т. Интерферометрия диффузно отражающих объектов. СПб: НИУ ИТМО, 2014. С. 193.
- Maiorov E. E., Prokopenko V. T., Ushveridze L. A. A system for the coherent processing of specklegrams for dental tissue surface examination // Biomedical Engineering. 2014. Vol. 47, N 6. P. 304—306.
- Майоров Е. Е., Машек А. Ч., Удахина С. В., Цыганкова Г. А., Хайдаров Г. Г., Черняк Т. А. Разработка компьютерной интерференционной системы контроля негладких поверхностей // Приборы. 2015. № 11 (185). С. 26—31.
- Коломийцев Ю. В. Интерферометры. Л.: Машиностроение, 1976. 296 c.
- Франсон М. Оптика спеклов / Пер. с франц.; Под ред. Ю. И. Островского. М.: Мир, 1980. 171 c.
- Gurov I. P., Gang L. Automatic inspection of non-smoth surface displacements by interferometer with low-coherent illumination // Proc. SPIE. 1996. Vol. 2899. P. 230—239.
- Майоров Е. Е., Машек А. Ч., Удахина С. В., Цыганкова Г. А., Хайдаров Г. Г., Черняк Т. А. Алгоритмы обработки информационного сигнала компьютерной интерференционной системы контроля негладких поверхностей // Научное приборостроение. 2015. T. 25, № 4. С. 61—66.
- Майоров Е. Е., Дагаев А. В., Пономарев С. Е., Черняк Т. А. Исследование интерферометра сдвига в фазоизмерительных приборах и системах расшифровки голографических интерферограмм // Научное приборостроение. 2017. Т. 27, № 2. С. 32—40.
- Майоров Е. Е., Дагаев А. В., Пономарев С. Е. Разработка оптического прибора для обработки голографических интерферограмм применительно к локальным наклонам диффузно-отражающих объектов // Приборы. 2017. № 6. С. 25—28.
- Майоров Е. Е., Прокопенко В. Т., Машек А. Ч., Цыганкова Г. А., Курлов А. В., Хохлова М. В., Кирик Д. И., Капралов Д. Д. Экспериментальное исследование метрологических характеристик автоматизированной интерферометрической системы измерения формы поверхности диффузно отражающих объектов // Измерительная техника. 2017. № 10. С. 33—37.
