ISSN 0021-3454 (печатная версия)
ISSN 2500-0381 (онлайн версия)
Меню

9
Содержание
том 63 / Сентябрь, 2020
СТАТЬЯ

DOI 10.17586/0021-3454-2019-62-7-675-680

УДК 681.586

НОВАЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКАЯ МЕТОДИКА ОБЕСПЕЧЕНИЯ НАДЕЖНОСТИ И СТАБИЛЬНОСТИ ВЫХОДНЫХ ПАРАМЕТРОВ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИХ ДАТЧИКОВ ДАВЛЕНИЯ

Ткалич В. Л.
Университет ИТМО; профессор


Калинкина М. Е.
Университет ИТМО, Санкт-Петербург, 197101, Российская Федерация; аспирант


Лабковская Р. Я.
Университет ИТМО; студент


Коробейников А. Г.
Санкт-Петербургский филиал учреждения Российской академии наук «Институт Земного магнетизма, ионосферы и распространения радиоволн им. Н.В.Пушкова РАН», Университет ИТМО, Санкт-Петербург, 197101, Российская Федерация; заместитель директора по науке


Пирожникова О. И.
Университет ИТМО; студент


Козлов А. С.
Университет ИТМО; кафедра проектирования и безопасности компьютерных систем; аспирант


Читать статью полностью 

Аннотация. Представлена новая технологическая методика обеспечения надежности и стабильности выходных параметров микромеханических датчиков давления. Произведен расчет параметров надежности чувствительных элементов датчиков давления. Приведены результаты автономных ускоренных испытаний и испытаний на безотказность.
Ключевые слова: микроэлектромеханические системы, датчики давления, чувствительный элемент

Список литературы:
  1. Шикульская О., Шикульский М. Моделирование датчиков. М.: Изд-во „Palmarium Academic Publ.“, 2012. 496 с.
  2. Клаассен К. Основы измерений. Датчики и электронные приборы. М.: Интеллект, 2008. 352 с.
  3. Казарян А. А. Пленочные датчики давления. М.: Бумажная галерея, 2006. 320 с.
  4. Афонский А. А., Дьяконов В. П. Измерительные приборы и массовые электронные измерения. М.: Солон-Пресс, 2012. 548 с.
  5. Распопов В. Я. Микромеханические приборы. М.: Машиностроение, 2007. 400 с.
  6. Конюхов Н. Е., Медников Ф. М., Нечаевский М. Л. Электромагнитные датчики механических величин. М.: Машиностроение, 1987. 254 с.
  7. Ачильдиев В. М., Грузевич Ю. К., Солдатенков В. А. Информационные измерительные и оптико-электронные системы на основе микро- и наномеханических датчиков угловой скорости и линейного ускорения. М.: МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2016. 264 с.
  8. Калашников В. И., Нефедов С. В. Электроника и микропроцессорная техника. М.: Академия, 2012. 368 с.
  9. Лаврентьев Б. Ф. Схемотехника электронных средств. М.: Академия, 2010. 336 с.
  10. Ермуратский П. В., Лычкина Г. П., Минкин Ю. Б. Электротехника и электроника. М.: ДМК Пресс, 2011. 416 с.
  11. Лабковская Р. Я., Козлов А. С., Пирожникова О. И., Коробейников А. Г. Моделирование динамики чувствительных элементов герконов систем управления // Кибернетика и программирование. 2014. Т. 5. С. 70.
  12. Коробейников А. Г., Гришенцев А. Ю. Разработка и исследование многомерных математических моделей с использованием систем компьютерной алгебры. СПб: НИУ ИТМО, 2014. [Электронный ресурс]: .
  13. Баканов Г. Ф., Соколов С. С. Конструирование и производство радиоаппаратуры. М.: Академия, 2011. 384 с.
  14. Аверченков О. Е. Схемотехника. Аппаратура и программы. М.: ДМК Пресс, 2012. 588 с.
  15. Агеев О. А., Петров В. В. Информационно-измерительная техника и электроника. Преобразователи неэлектрических величин: Учеб. пособие. М.: Юрайт, 2018. 158 с.
  16. Kalinkina М. Е., Kozlov A. S., Labkovskaya R. Y., Pirozhnikova О. I., Tkalich V. L. Analysis and design of pressure sensors for micromechanical integrated pressure sensors // IOP Conf. Ser.: Materials Science and Engineering. 2018. Vol. 450, N 3. P. 032004.