DOI 10.17586/0021-3454-2019-62-8-758-762
УДК 532.62:547.27
ЗАВИСИМОСТЬ ПОКАЗАТЕЛЕЙ ПРЕЛОМЛЕНИЯ И ПОГЛОЩЕНИЯ ОТ ТОЛЩИНЫ НАНОРАЗМЕРНЫХ ЖИДКИХ ПЛЕНОК
Тверской государственный университет;
Сдобняков Н. Ю.
Тверской государственный университет;
Родин И. Д.
Тверской государственный университет;
Читать статью полностью
Аннотация. С использованием фотометрического спектроэллипсометра „Эльф“ на основе анализа спектра эллипсометрических углов и исследованы размерные зависимости показателя преломления и показателя поглощения наноразмерных пленок этилового спирта, нанесенных на кремниевую подложку и подложку из стекла. Установлено, что для показателя преломления в исследуемом интервале наблюдается монотонное уменьшение с ростом толщины пленки. В области 85—140 нм для подложки из стекла и 120—150 нм для кремниевой подложки зафиксирован достаточно резкий спад показателя поглощения с уменьшением толщины пленки. Предполагается, что для показателя преломления такой эффект будет наблюдаться только в диапазоне меньших толщин пленок.
Ключевые слова: показатель преломления, показатель поглощения, размерная зависимость, эллипсометрия, наноразмерные жидкие пленки
Список литературы:
Список литературы:
- Peiponen K.-E. Optical spectra analysis of turbid liquids Faculty of Technology, Department of Electrical and Information Engineering. Oulu: University of Oulu, 2009. 60 p.
- Henkel S., Beyrau F., Hardalupas Y., Taylor A. M. K. P. A novel method for the measurement of liquid film thickness during fuel spray impingement on surfaces // Optics Express. 2016. Vol. 16, N 3. P. 2542—2561. DOI:10.1364/OE.24.002542.
- Weir K., Yupapin P. V. P., Chitaree R., Palmer A. W., Grattan K. T. V. Dynamic measurement of thin liquid film parameters using high-speed ellipsometry // Sensors and Actuators A: Physical. 1998. Vol. 65, N 1. P. 19—22. DOI: 10.1016/S0924-4247(97)01642-7.
- Webster R. D., Beaglehole D. In situ electrochemical-ellipsometry studies of charge-transfer processes at the liquid/liquid interface // Physical Chemistry Chemical Physics. 2000. Vol. 2. P. 5660—5666. DOI: 10.1039/B005629O.
- Hirtz A., Findenegg G. H. The surface profile of aqueous solutions of an amphiphile (С10E4) near liquid/liquid phase separation probed by ellipsometry // J. of Physics: Condensed Matter. 1996. Vol. 8. P. 9541—9545. DOI: 10.1088/0953-8984/8/47/059.
- Ким Д. А., Сдобняков Н. Ю., Новожилов Н. В., Антонов А. С., Соколов Д. Н., Воронова Е. А. Измерение показателя преломления наноразмерной пленки этилового спирта // Нанотехника. 2013. № 2(34). С. 72—74.
- Любинская Р. И., Мардежов А. С., Свиташев К. К., Хасанов Т. Определение четырех параметров системы изотропная пленка—ориентированный одноосный кристалл // Оптика и спектроскопия. 1988. Т. 65, Вып. 3. С. 632—636.
- Новожилов Н. В., Сдобняков Н. Ю., Родин И. Д. О размерной зависимости коэффициента поглощения наноразмерной пленки этилового спирта на кремнии // Физико-химические аспекты изучения кластеров, наноструктур и наноматериалов. 2016. Вып. 8. С. 269—272.
- Ширшов Ю. М., Набок А. В., Доценко А. М. Исследование профиля показателя преломления неоднородных диэлектрических слоев методом послойного травления // Эллипсометрия — метод исследования поверхности. Новосибирск: Наука, 1983. С. 100—102.
- Мутилин С. В., Хасанов Т. Показатель преломления тонкой однородной пленки SiO2 // Оптика и спектроскопия. 2008. Т. 105, Вып. 3. С. 505—510.
- Чураева М. Н., Зорин З. М., Конюшкина Н. И. Определение оптических характеристик толстых слабопоглощающих пленок методом спектральной эллипсометрии // Эллипсометрия: теория, методы, приложения: сб. статей / Отв. ред. чл.-корр. АН СССР К. К. Свиташева, А. С. Мардежова. Новосибирск: Наука, 1991. С. 67—72.
- Григорьева Т. И., Зилинг К. К., Мардежов А. С., Хасанов Т. Эллипсометрическое определение толщины титана для целей волноводной оптики. Препринт 3-85. Новосибирск: ИФП СО РАН, 1985. 10 с.
- Сдобняков Н. Ю., Новожилов Н. В., Антонов А. С., Воронова Е. А., Михайлова О. В. Исследование эллипсометрическим методом зависимости показателя преломления от толщины наноразмерной пленки ацетона // Физико-химические аспекты изучения кластеров, наноструктур и наноматериалов. 2014. Вып. 6. С. 349—352.
- Samsonov V. M., Sdobnyakov N. Yu. Bembel A. G., Sokolov D. N., Novozhilov N. V. Size dependence of the melting temperature of metallic films: two possible scenarios // J. of Nano- and Electronic Physics. 2013. Vol. 5, N 4. P. 04005-1—04005-3.
- Бойнович Л. Б., Емельяненко А. М. Применение эллипсометрии свободных пленок для определения показателей преломления субтонких слоев жидкости // Эллипсометрия: теория, методы, приложения: сб. статей / Отв. ред. чл.-корр. АН СССР К. К. Свиташева, А. С. Мардежова. Новосибирск: Наука, 1991. С. 61—66.