Ссылка для цитирования : Медунецкий В. М., Солк С. В., Глущенко Л. А. Особенности оценивания шероховатости оптических поверхностей // Изв. вузов. Приборостроение. 2023. Т. 66, № 6. С. 524—527. DOI: 10.17586/0021-3454-2023-66-6-524-527.

Аннотация. Экспериментально обоснована необходимость введения среднеквадратической шероховатости Rq в нормативные и конструкторские документы для оптических поверхностей, так как именно эта величина позволяет оценить энергетические потери, связанные с рассеянием излучения. Приведены результаты сравнения Rq и среднеарифметического отклонения профиля Ra оптических поверхностей, которые сформированы полированием и алмазным микроточением. Показано отсутствие однозначной связи между этими характеристиками. Отмечается целесообразность перехода от двумерных измерений к трехмерным при нормировании и измерении шероховатости, в частности, это актуально в случае отсутствия симметрии в топографии шероховатости.

Ключевые слова: шероховатость поверхности, оптический элемент, алмазное микроточение, рассеяние света

Список литературы:

1. Беннет Д. М., Маттсон Л. Шероховатость поверхности и рассеяние / Пер. с англ. Н. В. Васильченко. Вашингтон: Оптическое общество Америки, 1993. 119 с.
2. Дунин-Барковский И. В., Карташова А. Н. Измерение и анализ шероховатости, волнистости и некруглости поверхности. М.: Машиностроение, 1978. 232 с.
3. Измайлов В. В., Новосёлова М. В. О параметрах наношероховатости и некоторых корреляционных соотношениях // Тр. XII междунар. науч.-техн. конф. „Трибология — машиностроению“, посвященной 80-летию ИМАШ РАН. 2018. С. 210—213.
4. Медунецкий В. М., Солк С. В. Опыт применения и перспективы технологии алмазного микроточения // Научно- технический вестник информационных технологий, механики и оптики. 2014. Т. 89, № 1. С. 165—170.
5. Solk S., Shevtsov S., Iakovlev A. Designing of optical elements manufactured by diamond turning // SPIE. 2000. Vol. 4231. P. 181—188.
6. Справочник технолога-оптика / Под ред. М. А. Окатова. СПб: Политехника, 2004. 679 с.
7. Бурыкин В. В., Найденко А. Г. Шероховатость поверхностного слоя оптических изделий после алмазного микроточения // Вестник Брянского государственного технического университета. 2018. Т. 89, № 11(72). С. 26—31.
8. Азарова В. В., Цветкова Т. В. Анализ шероховатости прецизионных оптических поверхностей с использованием метода интерференционной микроскопии. // Изв. вузов. Приборостроение. 2014. Т. 57, № 6. С. 82—87.
9. Медунецкий В. М., Васильков С. Д. Методы оценивания микрогеометрии поверхностей деталей изделий // Изв. вузов. Приборостроение. 2016. Т. 59, № 3. С. 231—235.
10. Железняк А. Г., Сидоров В. Г. Планшетный сканер как прибор для физических исследований // Научно- технические ведомости СПбГПУ. Физико-математические науки. 2015. Т. 218, № 2. С. 49—60.