ЭЛЛИПСОМЕТРИЯ ОПТИЧЕСКИХ СОЕДИНЕНИЙ ЭЛЕМЕНТОВ ОПТОЭЛЕКТРОНИКИ
Университет ИТМО, Санкт-Петербург, 197101, Российская Федерация; профессор
Храмцовский И. А.
Университет ИТМО, 197101, Российская Федерация; вед. инженер
Землянский В. С.
;
Литвинов Ю. В.
Санкт-Петербургский государственный университет информационных технологий, механики и оптики, ка- федра систем управления и информатики; доцент
Секарин К. Г.
;
Аннотация. Рассмотрены методы эллипсометрического анализа поляризационно-оптических свойств элементов оптоэлектроники в бесклеевых оптических соединениях. Представлены методы диагностики напряженно-деформированного состояния элементов и определения их оптических характеристик в зоне оптического контакта неоднородных поверхностных слоев.
Ключевые слова:
эллипсометрия, оптические соединения, элементы опто-электроники.
