ISSN 0021-3454 (печатная версия)
ISSN 2500-0381 (онлайн версия)
Меню

11
Содержание
том 60 / НОЯБРЬ, 2017
СТАТЬЯ
УДК 535.51:681.4.023

ЭЛЛИПСОМЕТРИЯ ОПТИЧЕСКИХ СОЕДИНЕНИЙ ЭЛЕМЕНТОВ ОПТОЭЛЕКТРОНИКИ

Прокопенко В. Т.
Университет ИТМО, Санкт-Петербург, 197101, Российская Федерация; профессор


Храмцовский И. А.
Университет ИТМО, 197101, Российская Федерация; вед. инженер


Землянский В. С.
;


Литвинов Ю. В.
Санкт-Петербургский государственный университет информационных технологий, механики и оптики, ка- федра систем управления и информатики; доцент


Секарин К. Г.
;


Аннотация. Рассмотрены методы эллипсометрического анализа поляризационно-оптических свойств элементов оптоэлектроники в бесклеевых оптических соединениях. Представлены методы диагностики напряженно-деформированного состояния элементов и определения их оптических характеристик в зоне оптического контакта неоднородных поверхностных слоев.
Ключевые слова:

эллипсометрия, оптические соединения, элементы опто-электроники.