ISSN 0021-3454 (печатная версия)
ISSN 2500-0381 (онлайн версия)
Меню

11
Содержание
том 60 / НОЯБРЬ, 2017
СТАТЬЯ
УДК 621.315.592; 621.382.002

НЕКОТОРЫЕ СВОЙСТВА КРЕМНИЕВЫХ СТРУКТУР, ПОЛУЧЕННЫХ ЛАЗЕРНЫМ МИКРОСТРУКТУРИРОВАНИЕМ

Скворцов А. М.
Университет ИТМО, Санкт-Петербург, 197101, Российская Федерация; профессор


Дышловенко С. С.
;


Погумирский М. В.
;


Соколов В. И.
;


Аннотация. Исследовано влияние лазерного микроструктурирования монокристаллического кремния на морфологию и оптические свойства облученных областей. Показано, что на поверхности облученных областей кремния происходят сложные структурные изменения, сопровождаемые морфотропией кремния с образованием его нанокластеров. Одновременно существенно изменяются оптические характеристики, о чем свидетельствует изменение коэффициента пропускания облученных областей кремния.
Ключевые слова:

лазерное микроструктурирование, облученная зона, кремниевый нанокластер, коэффициент пропускания.