НЕКОТОРЫЕ СВОЙСТВА КРЕМНИЕВЫХ СТРУКТУР, ПОЛУЧЕННЫХ ЛАЗЕРНЫМ МИКРОСТРУКТУРИРОВАНИЕМ
Университет ИТМО, Санкт-Петербург, 197101, Российская Федерация; профессор
Дышловенко С. С.
;
Погумирский М. В.
;
Соколов В. И.
;
Аннотация. Исследовано влияние лазерного микроструктурирования монокристаллического кремния на морфологию и оптические свойства облученных областей. Показано, что на поверхности облученных областей кремния происходят сложные структурные изменения, сопровождаемые морфотропией кремния с образованием его нанокластеров. Одновременно существенно изменяются оптические характеристики, о чем свидетельствует изменение коэффициента пропускания облученных областей кремния.
Ключевые слова:
лазерное микроструктурирование, облученная зона, кремниевый нанокластер, коэффициент пропускания.
