ISSN 0021-3454 (печатная версия)
ISSN 2500-0381 (онлайн версия)
Меню

11
Содержание
том 60 / НОЯБРЬ, 2017
СТАТЬЯ
УДК 621.315.592; 621.315.51.6; 621.3.049.77.14

ФОРМИРОВАНИЕ РЕГУЛЯРНОГО МАССИВА НАНОКЛАСТЕРОВ КРЕМНИЯ МЕТОДОМ ПРОЕКЦИОННОГО ЛАЗЕРНОГО ОБЛУЧЕНИЯ

Скворцов А. М.
Университет ИТМО, Санкт-Петербург, 197101, Российская Федерация; профессор


Чуйко В. А.
Университет ИТМО; старший преподаватель


Туан Л. З.
Университет ИТМО, кафедра прикладной и компьютерной оптики; аспирант


Тунг Ф. К.
Университет ИТМО, кафедра прикладной и компьютерной оптики; аспирант


Читать статью полностью 

Аннотация. Представлена лазерно-дифракционная методика формирования регулярного массива (решетки) кластеров кремния в системе кремний — диоксид кремния, основанная на процессе локального лазерного испарения вещества. Показано, что плотность кластеров кремния в массиве зависит от шага ячеек в металличе- ской микросетке, которая использовалась для деления лазерного пучка. Определена пороговая мощность лазера, превышение которой сопровождается воз- никновением на окисленной поверхности кремния нанокластеров кремния в виде регулярной решетки. Показано, что при увеличении мощности лазера размер кластеров увеличивается, а вокруг кластеров появляются деформированные области; дальнейшее увеличение мощности приводит к увеличению размеров кла- стеров и площадей деформированных областей вплоть до их смыкания.
Ключевые слова:

нанокластер, нанокристалл, наноэлектроника, лазерный способ кластеризации.